光纤激光精密位移调整技术实验研究.pdfVIP

嫩 与光 电子学进展 51，091201(2014) Laser OptoelectronicsProgress @2014{中国激光》杂志社 光纤激光精密位移调整技术实验研究 王东平 吴志会 倪明阳 李显凌 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学 国家重点实验室，吉林 长春 130033 摘要 为了将激光弯曲成形技术应用于精密位移调整领域实现亚微米精度的位移调整，自行设计和搭建了激光微位 移调整与测量平台，将光纤激光通过线性透镜和扫描振镜聚焦在不锈钢薄板上作匀速扫描运动 ，实时监测加工过程 样件 自由端 的输 出位移 。建立 了样件激光微位移调整模型，在此基础上研究改变激光功率、扫描速度 、光束照射位置 以及离焦量等参数对调整位移 的影响。结果表明。样件通过该平 台实现 了亚微米级重复精度的精密位移调整 ，改变 激光照射位置是精确改变调整位移 的首选 ；通过优化工艺参数 ，降低了激光加工过程中样件表面的损伤 。 关键词 测量 ；微位移调整；激光弯 曲成形；光纤激光 ；工艺参数 中图分类号 TN249；TG665 文献标识码 A doi：10．3788几OP51．091201 ExperimentalStudiesonPrecision LaserDisplacement AdjustmentusingFiberLaser W angDongping WuZhihui NiMingyang LiXianling StateKeyLaboratoryofAppliedOpties，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics ChineseAcademyofSciences，Changchun，Jilin130033，China Abstract Inordertoachieveasub—micronscaledisplacementadjustmentinthefieldofprecisionadjustment usingthelaserbendingtechnology，alasermicrodisplacementa4iustmentandmeasuringplatform isbuilt．A fiberlaserisfocusedonthemetalsampleusingf- lensandmovesatconstantvelocityinalinedirection throughagalvanometer．TheoutputdisplacementofthesampleSfreeendismeasuredinrealtime．A simple closed—form modeloflasermicrodisplacementadjustmentisestablished．Theeffectoflaserpower，scanning velocity，defocus distance and position oflaser irritating on the OHtputdisplacementis investigated．The experimentalresultsshow thatanadjustmentdisplacementwithsubmicronscalerepeatabilityonthemetal platesamplecanberealizedinthisplatform andthebestchoicetoachieveprecisionadjustmentistoadjustthe position oflaserirritating．An ad]ustmentwith little damageto thesamplesurfaceisachieved through optimizingtheprocessparameters． Keywords measurement；microdisplacementadjustment；laserbending；fi