传感器及应用技术（ 第二版） 教学课件 作者 沈聿农 主编 王永红 副主编 董尔令 主审 ２电阻式传感器.pptVIP

尚辅网 尚辅网 第二章 电阻式传感器 1．电位器式传感器 2．应变片式传感器 3．压阻式传感器 第一节 电位器式传感器 常见的旋转式变阻器和滑线式变阻器，可做为角位移和线位移测量的电阻式传感器。位移的变化通过机械机构改变电阻器滑臂的位置，从而改变了a、b端的电阻值 第二节 应变式传感器 应变式电阻传感器是目前用于测量力、力矩、压力、加速度、重量等参数最广泛的传感器之一。它是基于电阻一应变效应制造的一种测量微小机械变量的传感器。 一、电阻应变效应 电阻的灵敏系数 金属电阻的灵敏系数 金属箔式应变片 在绝缘基底上，将厚度为0.003～0.01mm电阻箔材，利用照相制板或光刻腐蚀的方法，制成适用于各种需要的形状 应变片的工作过程 二、 电阻应变片的测量电路 1、直流电桥 不平衡直流电桥的工作原理及灵敏度 当电桥后面接放大器时, 电桥输出端看成开路.电桥的输出式为： 上式表明： ① ΔRi R时，电桥的输出电压与应变成线性关系。 ② 若相邻两桥臂的应变极性一致，即同为拉应变或压应变时，输出电压为两者之差；若相邻两桥臂的应变极性不同，则输出电压为两者之和。 ③ 若相对两桥臂应变的极性一致，输出电压为两者之和；反之则为两者之差。 ④ 电桥供电电压U越高，输出电压U0越大。但是，当U大时，电阻应变片通过的电流也大，若超过电阻应变片所允许通过的最大工作电流，传感器就会出现蠕变和零漂。 ⑤ 增大电阻应变片的灵敏系数K，可提高电桥的输出电压。 2.非线性误差及其补偿 全桥差动电路 3.温度误差及其补偿 温度补偿 ② 应变片的自补偿法 粘贴在被测部位上的是一种特殊应变片，当温度变化时，产生的附加应变为零或相互抵消，这种应变片称为温度自补偿应变片。利用这种应变片来实现温度补偿的方法称为应变片自补偿法。 a. 选择式自补偿应变片 b. 双金属敏感栅自补偿应变片 ③热敏电阻补偿 三、应变式传感器的应用 1???应变式力传感器 2? 应变式压力传感器 3. 应变式液体重量（或液位）传感器 4? 应变式加速度传感器 2、梁式力传感器 4. 应变式加速度传感器 5、称重式料位计 6、电子吊车秤 第三节 压阻式传感器 一、压阻效应及压阻系数 二、投入式液位传感器 三、 应变式压力传感器 压阻式压力传感器的优点 由于四个应变电阻是直接制作在同一硅片上，所以工艺一致性好，温度引起的电阻值漂移能互相抵消。 由于半导体压阻系数很高，所以构成的压力传感器灵敏度高，输出信号大。 又由于硅膜片本身就是很好的弹性元件，而四个扩散型应变电阻又直接制作在硅片上，所以迟滞、蠕变都非常小，动态响应快。 课间休息 尚辅网 便携式 吊钩秤 尚辅网 当在半导体材料上施加一作用力时，其电阻率将发生显著的变化，这种现象称为压阻效应。 ＝ 纵向压阻系数和横向压阻系数，大小由所扩散电阻的晶向来决定； 纵向应力和横向应力(切向应力)，其状态由扩散电阻所处位置决定。 尚辅网 1－支架 2－压阻式压力传感器 3－背压管 投入式液位传感器安装方便，适用于几米－几十米混有大量污物、杂质的水或其它液体的液位测量。 尚辅网 εt εr R4 R3 R1 R2 U U0 膜片 P εr εt R1 R2 R3 R4 εr εt 尚辅网 * * 尚辅网 将位移、应变、振动等非电量的变化转换成导电材料的电阻变化的装置，称为电阻式传感器。 尚辅网 位移与电阻成正比 尚辅网 尚辅网 电阻应变效应：金属导体或半导体在受到外力作用时，会产生相应的应变，其电阻也将随之发生变化，这种物理现象称为“应变效应”。 F Δl、ΔA 、Δρ ΔR 尚辅网 对于半径为r的圆导体，A=πr2，ΔA/A=2Δr/r 又由材料力学可知，在弹性范围内， 尚辅网 材料的几何尺寸变化引起的 材料的电阻率ρ随应变引起的（压阻效应） 金属材料：k0以前者为主，则k0≈1+2μ=1.7~3.6 半 导 体：k0值主要是由电阻率相对变化所决定 尚辅网 箔式应变片 尚辅网 位移、力、力矩、加速度、压力 弹性敏 感元件 应变 外力作用 被测对象表面产生微小机械变形 应变片敏感栅随同变形 电阻值发生相应变化 应变片 尚辅网 1、直流电桥 2、非线性误差及其补偿 3、温度误差及补偿 尚辅网 IL=0时电桥平衡 平衡条件 : R1R4=R2R3 R1/R2=R3/R4 R1+⊿R1 R2 R4 R3 U IL RL 尚辅网 应变片工作时，其电阻变化ΔR 尚辅网 采用等臂电桥，即R1= R2= R3=R4=R 。此为 当ΔRi R ( i=1,2,3,4) 时，略去上式中的高阶微量，则 尚辅网 尚辅网 略去分母中的ΔR1/R1项 ,假设Δ