传感器及其信号调理技术 教学课件 作者 徐湘元 第2章（2）.pptVIP

* 2.2 电容式传感器 电容式传感器（capacity transducer/sensor）是以电容器作为传感元件，将被测物理量转换为电容的变化量，再经转换电路转换成电压、电流或频率等信号输出的测量装置。它不但广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且可以用于压力、压差、液位、成分含量等方面的测量。 2.2.1 电容式传感器的特点 与其他种类的传感器相比，电容式传感器有其自身的特点，它的优点包括以下几点： 1) 温度稳定性好。电容式传感器的电容值一般与电极的材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，由于大多用真空空气和其他气体作为绝缘介质，介质的损耗非常小，热能损失也小。所以，电容式传感器几乎不存在自身发热的问题。 2) 动态响应好。电容式传感器动态响应很短，而且由于介质损耗小，因此工作频率高，适合动态信号的测量，如振动和瞬时压力等。 3) 静态引力小。电容传感器的两极板间由于静电场的存在，使两极板间存在静电力。对于平板电容有这样的数据： ， ，极板电压 ， 静电引力 。由此可见，在信号检测过程中，只需要施加较小的作用力，就可以获得较大的电容量及高阻抗的输出。 4）结构简单，适应性强 电容式传感器结构多采用无机材料作绝缘支架，用金属或在非金属材料上镀以金属做极板。所以其结构简单，易于制造、精度高。具有可在高温、低温、强辐射和强磁场等恶劣环境下工作的特点，并且体积小，便于在某些特殊场合下进行测量。 5） 非接触式测量 电容式传感器可进行非接触式测量，如在机械振动测量中，常常以运动的机件作为传感元件的一个极板，另一个极板则为测试仪器的一个探头。 电容式传感器的缺点： 寄生电容指连接传感器的电缆电容、电子线路的杂散电容及电容式传感器内极板与周围导体构成的电容。由于寄生电容较大，不仅降低了传感器的灵敏度，而且这些电容随时间变化，使仪器工作不稳定，影响测量精度。 2）寄生电容影响大 电容式传感器由于受其电极几何尺寸的影响，初始电容都很小。电容量越小，容抗就越大，视在功率就越小。因此其输出阻抗高，功率小，带负载能力差，容易受外界干扰产生不稳定现象。 1）输出阻抗高，负载能力差 2.2.2 电容式传感器的工作原理 平板电容式传感器由两个金属极板，中间夹一层电介质构成，如图2-12所示。在不考虑边缘效应的情况下，其电容量的计算表达式为： (2-34) 式中，A为电容两平行板所遮盖的面积 ， 为极板间介质的介电常数（F/m）； 是极板间介质相对介电常数； 是自由空间（真空）介电常数， ； d 为两平行板间距离 。 图2-12 平行板电容器 由式 (2-34) 可知，当 A 、 和 d 三个变量发生变化时，电容量C将随之发生变化。通常情况下保持其中两个变量不变，只改变另一个变量，然后把其变化转换成电容量的变化，通过测量电路将其转换成电量输出。据此，电容式传感器分为三种：变极距型电容式传感器、变面积型电容式传感器和变介质型电容式传感器。 1) 变极距型电容式传感器 当电容式传感器的介电常数和面积不变，极板间距离初始值为 ，缩小了 ，则其初始电容 和改变后电容 分别为： (2-35) (2-36) 如果极板间的距离变化很小， ，将式 (2-36) 按泰勒级数展开为 (2-37) 对式(2-37)进行线性化处理，忽略高次的非线性项，可得 (2-38) 由此可见，这时 和 近似呈线性关系，所以改变极板距离的电容式传感器往往设计成 在极小范围内变化。 在实际的应用中，为了提高传感器的灵敏度和克服某些外界因素对测量的影响，常常需要把传感器做成差动形式，如图2-13所示。初始时极板间的距离都相等为 ，当中间极板移动 后， 和 成差动变化，即其中一个电容量增大，而另一个电容量则相应减小，这样可以消除外界因素所造成的测量误差。 图2-13 差动式电容传感器结构示意图 对应的传感器的电容量分别是： (2-39) (2-40) 若位移量