集成铜电极的聚甲基丙烯酸甲脂电泳芯片的制作.pdfVIP

第33 卷 分析化学 （FENXI HUAXUE ） 仪器装置与实验技术 第4 期 2005 年4 月 Chinese JOurnaI Of AnaIyticaI Chemistry 584 ~ 587 集成铜电极的聚甲基丙烯酸甲脂电泳芯片的制作 1 1 2 ，3 1 1 3 2 ＊ 刘军山 罗 怡 杜 艳 刘 冲 王立鼎 周伟红 杨秀荣 1 （大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，大连 116024 ） 2 （中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室，长春 130022 ） 3 （吉林大学南岭校区化学学院，长春 130022 ） 摘 要 在聚甲基丙烯酸甲脂（PMMA ）上溅射金属Cu ，然后利用光刻、湿法腐蚀的办法制出铜电极。与另一 片含有微沟道的PMMA 基片热键合，制成集成铜电极的电泳芯片。在电极制作过程中，对Cu 表面上覆盖的 正性光刻胶的前、后烘烤温度及时间进行了研究。对Cu 腐蚀液的选择及其浓度的确定进行了分析。首次提 出采用二次曝光的办法去除铜电极表面的光刻胶。为了证明该种方法的可行性，在制作的一种集成铜电极的 PMMA 芯片上，进行了循环伏安及动态伏安实验，采用安培法对葡萄糖溶液的电泳分析进行检测。 关键词 聚甲基丙烯酸甲脂，电泳芯片，铜电极，二次曝光，电化学检测 ! 引 言 在过去的十几年里，电泳芯片在分析化学等领域引起了极大的关注［1 ~ 5 ］。目前，大多数电泳芯片的 ［1，2 ］ ［3 ~ 5 ］ 基体是硅 和玻璃 ，这两种材料的加工工艺成熟，具有较好的电渗性质等。近来，研究者正将目 光转移到塑料芯片上［6 ~ 9 ］，例如有机玻璃（PMMA ）、聚碳酸脂（PC ）等。与硅和玻璃相比，塑料材料价格 廉，品种多，制作工艺简单。目前，电泳芯片的检测方法主要是激光诱导荧光（LIF ）检测［1 ~ 4 ，6 ~ 8 ］。尽管 LIF 检测的灵敏度非常高，检出限可以达到10 - 10 ~ 10 - 12 mOI/ L ，但是LIF 检测系统比较昂贵，检测样品 只限于能发荧光和可以经过衍生后发荧光的样品，而且与芯片本身相比，系统庞大，不能够满足整个分 析系统微型化的要求。电化学检测是一种非常具有应用前景的检测方法［5 ，9 ~ 11］，除了对样品本身是否 能够产生荧光无要求外，而且由于可以将微电极集成到芯片上，因此更适合于微芯片形式，被认为是最 有希望实现真正的微全分析系统（miniaturized tOtaI anaIysis system ，-TAS ）的一种检测方法。 ! 集成电极式的塑料电泳芯片已有很多报道［9 ，10 ，12 ，13 ］，电极材料主要是 Pt 、Au 等贵金属［10 ，12 ，13 ］。 ［12 ］ Gra 等 利用剥离（Iift-Off ）技术在PMMA 盖片上制出Pt 电极，然后借助一种掩模对准器（mask aIign- ［13 ］ er ）实现基片与盖片的对准，用胶将二者粘接到一起。GaIIOway 等 将一直径为127 !m 的Pt 线插入事 先在PMMA 基片上压制好的宽度为130 !m 的沟槽内，然后利用环氧树脂将Pt 线固定，最后与盖片进 行热键合。这两种方法的制作工艺都相对比较复杂，因此成品率不高，芯片成本高。毛细管电泳分析氨 基酸、肽、糖类等物质，利用铜电极进行电化学检测已经证明是一种灵敏度很高的