微机械弹性纳米接触问题的建模与计算.pdfVIP

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年 月 西安电子科技大学学报(自然科学版) !( ! R0L*!( 第 卷 第 期 ! ! %’ S5/*%’ T5* ! ! !#$%’ ( )*+*% #%*,-$.*/0 ! ! ! 微机械弹性纳米接触问题的建模与计算 樊康旗! 贾建援! 王卫东 !西安电子科技大学 机电工程学院陕西 西安 # (( ! 摘要!针对 +,-./0 方程和刚性纳米接触模型在处理微机械纳米接触问题中的不足!基于 2033-,.$ 1 势能定律将组成两接触球体的原子之间的粘着力等效为两球体表面所受的分布作用力!并根据经 45306 典弹性理论建立了一种新型的两球体弹性纳米接触模型 该模型可以同时得到两球面轮廓随间距的变 * 形过程及两球体间的粘着力和表面变形量随间距的变化规律!并且与现有的由原子力显微镜扫描实验 所得到的结论相一致* 关键词!微机械系统粘着纳米接触纳米摩擦 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # 7’8 9 $!’ !($)#$: ! ! ! ! !#$%’(#()’)(%#’%*)+,)-*’.)/*,’0#(’#$$%,*$ 1 # # !# $% (* +, +*%(.% /#0 /1*(23 ’) - ’ ! # # # ;=55/5?0=-3@-/$0/0A,53B3 @300,@3 D@.@-3E3@F* D@G-3 (( H=@3- C C ! $ # 23$%.#’% +-60.53A=02033-,.$45306 5A03A@-/ A=0-.=06@F05,06-J53 A=0-A5J65AK56=0,06 ! I C I -,0536@.0,0.-6A=0.@6A,@LMA@3 /5-.-A@3 53A=06M,-065A=0AK56=0,06*93.-

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