微机械陀螺原理与关键技术.pdfVIP

第 卷 第 期 仪 器 仪 表 学 报 阴 年 月 微机械陀螺原理与关键技术 高钟毓 清华大学 摘要 本文介绍两种结构 的微机械 陀螺 的基本工作原理 、 主要性 能指标 以及设计和 制造 中的 关键技术 。 引 言 微机械 陀螺是一类技术难度较大 的微机 电系统 , 它是在硅 微 结构 的微米 纳米 。 技 础 上发展起 的 它 由 晶硅 用光刻 和 异 刻蚀工艺 造而成 , 有 显 的尺 术基 来 单 片采 各 向 性 制 具 著 、 、 、 、 。 寸小 重量轻 可靠性高 抗振动冲击能力强 以及大批量生产等优点 , 因此成本低 价格低廉 据 。 、 , , ‘ 〔〕 文 献 图闭报导 这类 陀螺 目前 已经 能够达 到 。 漂移性 能指标 在 战术武器 汽 车工业 以 。 增 广 导 航 方 面 , 有 广 的应 用 景 在 以 , 测 及 等 都 泛 前 年 前 将有微机械惯性 量单元 。 品 问 , 只 , 民 , 步 产 世 预计每 价格军用为 美元 用仅为 美元 并且 将进一 克服 。 精度壁垒 , 研制 出腰 带扣大小 的惯性导航系统