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镀膜玻璃层结构及成分的俄歇电子能谱分析.pdf
Δ 平均吸附热 ,kJ ·mol - 1
H0 参考文献
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q 气体在单位质量或体积吸附剂上的吸附量 , 2 2
mol ·g - 1或 mol ·L - 1 ture in NaCaA Zeolites by Elution Chromatograp hy , Ind . Eng . Chem .
Res. 1993 ,32 :548～552
镀膜玻璃层结构及成分的俄歇电子能谱分析
尹诗衡 曹珍年 谭春华
(华南理工大学测试中心 广州 5 10640)
Email :yinsh 12 12 @263 . net
摘 要 利用俄歇电子能谱仪测试了一种镀膜玻璃的表面层成分 ,并利用深度剖析的方法测试分析了其镀膜层
的结构 ,估算了镀膜层的厚度 。
关键词 俄歇电子能谱仪 ;镀膜玻璃 ;深度剖析 ;膜厚
中图分类号 O657 . 62 ;O655 . 9
The Structure and Components Analysis of the Fil m of a Fil medglass by AES
Yin shiheng , Cao Zhennian , Tan Chunghua
(Analytical and Testing Center ,Sout h China Univer sit y of Technology , Guangzhou 5 10640 ,P . R . China)
Abstract In t his paper ,t he surface component s of a filmedgalss are measured and t he film st ructure of t he
glass is analyzed by A ES dept h profile ,and t he dept h of t he film is estimated by an indi
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