37.利用飞秒激光双光子聚合法制作达曼光栅.pdfVIP

第37 卷 第3 期 河 北 工 业 大 学 学 报 2008 年6 月 Vol.37 No.3 JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY June 2008 文章编号：1008-2373 (2008) 03-0055-04 利用飞秒激光双光子聚合法制作达曼光栅 李 珣，张德祥，贾 威，王清月 （天津大学 精密仪器与光电子工程学院，天津 300072 ） 摘要 使用中心波长为800 nm 的飞秒激光振荡器，通过研究双光子聚合工艺，得出降低加工功率、曝光时间以 及提高加工速度，有利于空间分辨率的提高．在上述研究结果的基础上制作了一个 1 ×7 点阵的达曼光栅，制作 结果表明双光子聚合技术在制作微光学元件方面有着非常好的应用前景． 关 键 词 飞秒激光；双光子聚合；曝光时间；激光能量；加工速度；达曼光栅 中图分类号 TN24 文献标识码 A Dammann Grating Created by Femtosecond Laser via Two-photon Photopolymerization LI Xun, ZHANG De-xiang, JIA Wei, WANG Qing-yue ( School of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianj in University, Tianj in 300072, China ) Abstract After studying the relationship among feature size, exposure time, laser power and processing speed, we fab- ricated a 1 × 7 Dammann grating using femtosecond laser oscillator, which central wavelength is 800 nm, via two-photon photopolymerization. The result shows that lower power and exposure time and higher processing speed lead to smaller feature size and the two-photon photopolymerization technology has extremely good prospect in the manufacture of micro- optical elements domain. Key words femtosecond laser ；two-photon photopolymerization ；exposure time ；laser power ；processing speed ； Dammann grating 0 引言 飞秒激光双光子聚合技术由于具有精度可突破衍射极限等独特性质，在二维、三维微加工，三维光 [1-4] 存储以及光子晶体的制作等 多个方面中都有非常好的应用前景．目前，许多国家都对这项技术开展 [ ] 5 了研究．1971 年达曼和果尔特勒 提出并设计了达曼光栅，该光栅具有光斑阵列均匀性不受入射光分