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多感測器三角雷射探頭的量測精度研究
修芳仲1 劉旻欣2
國立台灣科技大學機械學系
本研究主要為研製一精密散射式多感測器三角雷射探頭，在光路設計上以Scheimpflug原理
為基礎，將使投射至感測器表面的雷射光點產生恆 （聚）焦且具有光路放大之效果；在構造上以單
雷射光源搭配六個線電荷耦合元件(LinearCCD)感測器；在量測方式上提出單舆雙感測器量測
模組和近似環形的五個與六個感測器量測模組，以尋找出雷射探頭的最佳量測方式。本研究所
研製之雷射探頭，量測範圍±2mm，解析度2μm。並以VisualBasic6.0程式語言開發人機介面
來整合三軸微定位平台舆自製雷射探頭，以建構一自勤化非接觸式三維量測系統。在提出的多
種量測模組中，針對不同表面斜率、複斜面進行量測比較，根據實驗結果以五個CCD的偏態與
峰度濾除法為最佳量測模組，可穩健地得到量測結果與提升量測精度。在量測誤差比對方面，
以三次元座標量測儀(C.M.M)之量測結果作為比對的基準，根據實驗結果得知凸高輸廓載具之
量測誤差分剔為11μm,量測系統成功地應用於微細雕刻面三維輪廓量測上。
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多感測器三角雷射探頭的量測精度研究
作者： 修芳仲， 劉旻欣
作者单位： 國立台灣科技大學機械學系
引用本文格式：修芳仲.劉旻欣 多感測器三角雷射探頭的量測精度研究[会议论文] 2009
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