声表面波谐振器应用和市场.pdfVIP

中国电子学台第十届电子元件学术年会论文集98年9月 声表面波谐振器应用与市场 陈书明沈春林方强周延 南京电子器件研究所通信元件产品部 210016 摘要本文介绍了单端对声表面波谐振器的基本原理、性能，根据器件性能改进电路设计 根据电路要求改进器件设计，进行SAW谐振器民用产品应用开发，培育形成了规模市场． 关键词：SAW谐振器插入衰耗频率稳准度应用与市场 一、引言 我们经过一年多的研制开发，掌握了≤670删z声表面波谐振器批生产技术，生产能力正 逐步提高。面临的问题是原有市场需求很小，需要通过应用开发，引导和培育市场，从而形 成规模市场。以市场为龙头，带动、促进sAw谐振器国内生产水平的提高。 二、SAW谐振器基本原理、性能及等效电路 l、基本原理 声表面波是传播在压电晶体表面的机械波，其声速仅为电磁波速的十万分之一，故采微 电子技术制作的声表面波器件体积小重量轻，易于规模生产。单端对声表面波谐振器是在石 英基片上利用两端反射阵列形成分布式谐振腔，用一个叉指换能器完成电～机一电转换，在某 一频率上，谐振腔的长度等于半波长的整数倍从而达到电谐振效果。 匦画画匦画 i 图2．单端对SAW谐振器等效Lc电路模型 声表面波谐振器提供了一种稳定的、高Q值振荡器频率控制元件，基波工作频率从50MHz 到接近2GHz，频率下限受价格因索及结构尺寸限制，频率上限取决于生产工艺的最小尺寸。 SAW谐振器是由牢固地附着在石英基片上的铝膜微细图形构成，因而是一个固有的高可靠性元 件，在军事和空间技术上得到了广泛应用；SAW谐振器芯片是采用一次光刻生产出来的，在 性能价格比上对工业和民用具有很大的吸引力。 在一般工业和民用中，较低的产品价格是设计的主要目标，频率精度几十Kt4z到几百 KI-Iz可以满足使用要求，在这种情况下，温度稳定性和长期稳定性是主要的。在某些情况下， 需要低衰耗谐振器以满足增益和元件间的匹配问题。 223 h、颁率准确度 600E_{z大规模生产频率准确度为±250KHz～±500iHz。 B、频率温度系数 对于固定频率振荡器，频率温度稳定性是一项重要指标。对于sT切向的石英材料SAW 谐振器，其频率温度特性可用下列公式表示：△F／F=一((T-To)／5．4)。ppm…公式(1) 度(通常为25℃)，不同切割角度的石英材料拐点温度To有所不同。 C、插入衰耗(ILl) 标。我们知道高频电路增益较低，插入衰耗大不能满足振荡电路环路增益要求。500～600Ⅻz 早期产品插入衰耗典型值3dB左右，目前批量生产水平插入衰耗1，5dB左右。 D、并联谐振衰耗(IL2) 并联谐振衰耗有时也称为反谐振抑制．对于低频谐振器反谐振抑制典型值为35dB左右， 500～600E_{z高频低衰耗谐振器反谐振抑制25dB左右。 E、静态电容 CT=Co+Cp，Co为叉指静电容，cp为管壳寄生电容，通过低频电桥测量出数值。 F、Q值 等效Q值介于Lc振荡器和石英晶体振荡器之间，Q值计算方法见参考文献(1)。 3、等效电路模型 决定了谐振器等效电路参数，图2是等效电路模型。 三、应用及市场分析 (一)应用于小型cATv系统邻频调制器 1、市场分析 随着广播电视事业的发展，乡村小型CATV系统对质优价廉的邻频调制器需求旺盛。采用 锁相技术生产射频调制器，技术难度大，生产调试复杂，材料成本及生产费用高，整机价格 难以下降。采用声表面波振荡电路代替锁相电路，电路简洁，生产调试方便，稳定可靠，可 以大幅度降低生产成本，适应广大农村市场的需求。 2、技术性能分析 可以满足小型OATV系统使用要求。在振荡电路中改变s姗谐振器的负载电容可以调节振荡频 率，因此调制器生产调试后频率准确度可以达到±10娜z。