一种新型谐振加速度计会议论文.pdfVIP

第12卷第3期 光学精密工程 V01．12No．3 andPrecision 2004年6月 Optics Engineering Jun．2004 文章编号1004-924X(2004)03-0284-04 一种新型谐振加速度计 贾玉斌，郝一龙，张 嵘 (1．北京大学微电子研究院，北京100871；2．清华大学精仪系，北京100084) 摘要：描述了一种新的谐振加速度计，这种加速度计由1个质量块、2个谐振音叉和一套由锚点支撑的弯曲杠杆系统组 成。在加速度的作用下，一个音叉受到轴向拉力的作用频率变大；另一个音叉受到轴向压力的作用频率变小。杠杆系统 放大了由加速度引起的轴向力，使加速度灵敏度提高。这种加速度计可以用微机械体硅工艺来制作。实验研制的加速 度计灵敏度为27．3Hz／g，分辨率为167．8Ilg。 关键词：微机械加速度计；谐振块硅 文献标识码：A 中圈分