PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断.pdfVIP

下载本文档

8
0
约 5页
2017-08-21 发布于安徽
举报
版权申诉

PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第29卷第4期增刊仪器仪表学报 Vbl．29No．4 2008年4月 ChineseJoumalofScient讯cInstmment A pr．2008 PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断半王庆1巴德纯1徐香坤2徐化冰3 (1东北大学机械工程与自动化学院沈阳110004： 2沈甩j理工大学应用技术学院抚顺113122： 3渤海船舶职业学院动力工程系葫芦岛125000) 摘要开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统对PEcVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断。该镀膜机内的等离子体是电镀膜机中氩等离子体的参数(等离子体密度和电子温度)进行了诊断分析。结果表明：电子温度在2．7eV和6．4eV之间，并且随着射频功率的增加而降低。而等离子体的密度在8×10”m-3到0．85×10“m_3的范}硝随着射频屯源的增加而增加。关键词等离子体增强化学气相沉积镀膜机等离子体诊断朗缪尔探针中图分类号TH873．7文献标识码A 国家标准学科分类代码 140．5045 Probein Plasma PECVD Machine DiagnosisUsingLangmuir Coating BaDechunlXu Xu WangQin91 Xiangkun2Huabin93 SchoolMechnn{cal l lo004。Chinn： n cf Engineering＆Automnti0H：NorthensternUn如ersil)}：Shenynng 2 l 13122．ChinⅡ； School谚AppiicnIionTechnoto斟：She唧nngn90ngUni、)ers渺：Fushun 3 yocdttonnl l DepQrlment可DynnmicE鸭i他ering：BohaiShipbHildingcollege；Hu|Hdao25000．Chi岫 Abstract：Anew with is tomeasurethe diagnosticsystemLangmuirprobedesigned parameters plasma plasma ina enhancedchemical machine．ThedriVen plasma Vapordeposition(PECVD)Vacuumcoating plasma by is radio-f．requency(RF)powersupplycapacitiVelycoupledplasmas(CCP)． The suchasthe and aremeasured densityelectron plasmaparameters plaSma temperatureplasm