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助 锨 材 料 2006年增刊(37)卷
TiN/Ag多层膜的抗菌性和抗腐蚀性研究。
刘 桐,唐慧琴,张魁,赵 杰
(天津师范大学物理与电子信息学院天津300074)
摘要: 用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈 所以,本文采取IBAD方法在医用不锈钢317L基
底上制备调制周期不同的TiN/Ag多层膜,用振荡平
钢317L上制备TiN/Ag多层膜。用振荡平板法测试
了抗茵率[1],测试菌种为大肠杆茵;用电化学腐蚀的方 板法测试了抗菌率,测试菌种为大肠杆菌;用电化学腐
蚀的方法检测了薄膜在Hank’S模拟体液中的耐腐蚀
法检测了薄膜在Hanks模拟体液中的耐腐蚀性能;测
试了薄膜与基底的附着力;通过X射线光电子能谱 性能;测试了薄膜与基底的附着力;通过X射线衍射
(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分
析研究了薄膜的结构特征和各元素的深度分布。研究 (XPS)分析研究了薄膜的结构特征和元素的深度分
结果表明:当多层膜TiN/Ag的调制周期为7.5nm时 析,最后得出一些有参考价值的数据。
(TiN膜为4.5nm,Ag为3nm),体现出很好的抗茵
2 实验方法
性,抗茵性达到99%以上;而且抗腐蚀性能较医用不
锈钢317L提高,接近单层TiN薄膜;同时多层膜基底材料 317L不锈钢的型号为
TiN/Ag与基底的结合力及硬度也很接近单层TiN薄
膜。
mm×10mm×2mm
关键词: 多层膜;抗菌性;抗腐蚀性 Fe:rem。首先,将其切割成10
中图分类号: R318.08 文献标识码:A 8水砂纸逐
的块状样品,然后将其一面经400~1200
文章编号:1001-9731(2006)增:FzJ-0728-04
级磨光,再用Al。O。微粉抛光至镜面光洁,用蒸馏水和
无水乙醇进行超声清洗烘干后备用。
1 引 言
金属材料作为生物材料用于人体已有数百年的历 个宽束考夫曼离子源,一个高能轰击,一个低能轰击,
史[2]。医用金属材料最常用于骨和牙等硬组织修复和 一个水冷可旋转的六工位样品台,一个水冷可旋转的
替换,如人工关节、人工骨、各种内外固定器械和口腔 四工位靶台。通过微机操控,可以根据调制周期旋Ti
整矫等。应用中的主要问题是由于生理环境的腐蚀而
造成的金属离子向周围组织扩散及植人材料自身性质 前,将抛光清洗好的317L不锈钢放入IBAD设备的
的退变,前者可能导致毒副作用,后者导致植入失 水冷可旋转样品台上,抽真空后,先用束流为5mA
效[3q]。疲劳和磨损是影响组织不相容的另一重要问氩离子束进行溅射清洗5min后,再用束流25mA的
题。TiN薄膜的高硬度、耐腐蚀、抗疲劳使之成为很好
的生物工程薄膜。银是金属离子中抗菌能力最强[6]且 离子柬辅助沉积。为了增加膜基结合力,先在医用不
无毒的金属。目前,掺银的材料已被应用于粉末除菌
剂、厕所用具、卫生设施等等,且都显示了其长期的广
谱抗菌效果,但对其抗菌的机理解释仍需要深入研
究[7]。本文尝试在TiN薄膜掺杂银,使TiN薄膜除了
量由流量计独立控制。制备TiN/Ag多层薄膜的主要
具有良好的机械性能和抗腐蚀性能的同时还具有抗菌 工艺参数如表1所示,样品编号如表2所示。
性,从而降低医用材料植入人体后发生由细菌引起感
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