偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响.pdfVIP

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2017-08-20 发布于湖北
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偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响.pdf

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偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响.pdf

Transactionsof NOilferrousM etals 受 Av酶aialbelonSlniceaitewwnwcs．ecDeinceirdreiecctct．om SocietyofChina Trans．NonferrousMet．Soc．China24(2014)2856～2863 www ．tnm sc．cn Effectofbiasvoltageoncompositional，mechanicalandcorrosionpropertyof ZrNbA1N multilayerfilmsbyunbalancedmagnetronsputtering Yong-jingSHI，-，Fu．shengPAN ，Ming．dongBAO，Hu．chengPAN，MuhammadRASHAD 1．CollegeofMaterialsScienceandEngineering，ChongqingUniversity,Chongqing400044，China； 2．DepartmentofMaterialsScienceandEngineering，ChongqingUniversityofScienceandTechnology， Chongqing401331，China； 3．InstituteofMaterialsEngineering，NingboUniversityofTechnology,Ningbo315016，China Received6August2013；accepted13January2014 Abstraet：Nano—sealedZ AlN filmswithdifferentnegativebiasvoltages( 1weredepositedonbronzesubs仃ateandSi(100) wafersbyareactiveunbalancedmagnetronsputteringtechnique．CompositionandstructurepropertieswerecharacterizedbyX．ray photoelectronspectroscopyandX—raydiffraction．ItisfoundthatmoleconcentrationsofZrandNbareaffectedbyZb．whichlcadsto theincreaseofbindingenergyofN 1sandAl2panddecreaseofbindingenergvofZr3d∽ andNb3出，7．Surfacemorphologies evolutioncontrolledby couldbeobserved．Furthermore，X—raydiffractionpatternsrevealthatthesefilmsshow a(111)prefefred orientation．Moreover．mechanicalpropertyandcorrosionbehaviorofZrNbA1N filmswerecharacter／zedbynanoindentationtestand corrosiontest．respectively．A maximum valueof21．85GPaat-70V occursintheZrNbAlN—bronzesystem．whichoutperofrms un