有机气相喷印系统的开发和研究.pdfVIP

2014年9月 机床与液压 Sep．2014 第42卷 第 17期 MACHINE TOOL HYDRAULICS Vo1．42No．17 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．17．002 有机气相喷印系统的开发和研究 彭文佳 ，张鸿海 ，舒霞云 ，邱阳 ’ (1．华中科技大学机械学院，湖北武汉430074； 2．武汉光电国家实验室微光机 电系统研究部，湖北武汉 430074) 摘要：为了满足高分辨率、大尺寸、高发光效率的有机电致发光器件 (OLED)的制作需求，提出了一种利用印章式 有机气相喷射技术 (OVSJP)来进行图形化的新方法。阐述了该方法的基本原理、实验装置和初步的实验结果。利用直径 80 m的单口硅喷嘴，成功实现了阵列点阵、等距线条等基本图形的制作。研究了主要控制参数对点阵直径、线条宽度和 成型质量的影响。结果表明：印章式有机气相喷射技术是一种有效的OLED有机层的制作技术，能够满足大尺寸的OLED 工业化生产的需求，是 目前国内制作 OLED的一种新的工艺方法。 关键词：有机电致发光器件 ；喷射；图形化；有机薄膜层 中图分类号 ：TH16 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2014)17—005—4 ResearchandDevelopmentofOrganicVaporJetPrintingSystem PENGWenjia’，ZHANGHonghai’，SHUXiayun’，QIUYang’ (1．MechanicsCollege，HuazhongUniversityofScienceTechnology，WuhanHubei430074，China； 2．ResearchDepartmentofMicroOpticalMeehatronicsSystem．WuhanNationalLaboratoryfor 0ptoelectr0nics，WuhanHubei430074，China) Abstract：InordertosatisfyneedsinproducingOrganicLight·EmittingDiode(OLED)deviceswithhighresolution，largesize andhighluminousefficiency，anewmethodforpatternmakingiscomeupwithatechnologyusingorganicvaporstampjetprinting (OVSJP)．Thefundamentalsofthismethodwereexplained，aswellastotheexperimentaldevicesandpreliminaryresuhs．Somebasic patternsofspots，arraysandisometrylinesweremadesuccessfullybyusingsinglesiliconjetnozzlewithdiameterof80um．Maincon— trolparameterswerestudiedtoinvestigatetheireffectsonthediameterofthespots，thewidthofthelinesandpatternmakingquality． TheresultsshowthatOVSJPisaneffectivetechnologytofabricatetheorganiclayersoftheOLED devices．Itcanmeettheneedsofin— dustrialproductionoffabricatinglargesizeOLED devices，andisanew technoloyg methodindomesticfabricatingOLED atpresent． Keywords：OrganicLight—EmittingDiode；Jet；Patternmaking；Organicfilm 0 前