热处理温度对溶胶-凝胶法制备的Ce0.97Co0.03O2薄膜结构和光学性能的影响.pdfVIP

第53卷 第3期 中山大学学报 (自然科学版) Vo1．53 NO．3 2014年 5月 ACTA SCIENTIARuM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI Md．v 2014 热处理温度对溶胶 一凝胶法制备的Ce 7Co。．。3O2 薄膜结构和光学性能的影响 阳生红 ，张 日理 (q-山大学光电材料与技术国家重点实验室∥物理科学与工程技术学院，广东广州510275) 摘 要：采用溶胶一凝胶法，在si(100)衬底上制备了3％Co掺杂CeO：薄膜，研究了不同热处理温度对 ce。Co 。O 薄膜结构和光学性质的影响。x射线衍射 (XRD)表明，3％Co掺杂CeO 薄膜为多晶薄膜，且未 破坏CeO：原有的结构，随着退火温度的升高，晶粒尺寸逐渐增大。椭偏光谱法研究表明，ce。Co 0 薄膜的 光学常数 (折射率 n、消光系数 )随着退火温度增加而增大，光学带隙E 随退火温度增加而减小 ，这是薄膜 结构随退火温度增加发生变化所致。 关键词 ：3％Co掺杂CeO，薄膜；溶胶 一凝胶法；光学性质 中图分类号：0484．4；TN304 文献标志码 ：A 文章编号：0529—6579(2014)03—0146—04 InfluenceofAnnealingTemperatureonStructuralandOptical Properties 0fCe0 Coo 02ThinFilmsPr eparedbySol-GelMethod ． 97 ． 03 YANGShenghong，ZHANGYueli (StateKeyLaboratoryofOptoelectronicMaterialsandTechnologies／／SchoolofPhysicsEngineering， SunYat—senUniversity，Guangzhou510275，China) Abstract：3％CodopedCeO2thinfilmswerepreparedonSi(100)bySol—Gelmethod．Theinfluence ofannealingtemperatureonthestructuralandopticalpropertiesofCeo97Coo0302thinfilmswasstudied． X—raydiffraction(XRD)showedthat3％CodopedCeO2thinfilmswerepolycryatallinewiththesame sturctureofCeO2．Theaveragecrystallitesizeincreasedwithincreasingannealingtemperature．Spectro— scopicellipsometry (SE)studiesshowedthattheopticalconstants(therefractiveindex凡andtheextinC— tioncoefficientk)ofCeo97Cooo3O2thinfilmsincreasewithincreasingannealingtemperature，andtheop— ticalbandgapEgdecreaseasincreasingannealingtemperature．Thevariationinopticalpropertieswith annealingtemperaturerevealedthatthefilm sturcturewasaffectedbyannealing． Keywords：3％ CodopedCeO2thinfilms；Sol—Gelmethod；opticalproperties CeO 应用十分广泛，可用于制备脱色剂、抛 制成功后将很容易实现与半导体材料的集成化。此 光粉、发光材料、电子陶瓷和紫外吸收材料等。 外，CeO 具有 良好的光学透明性和较高的折射率， CeO 具有萤石结构，高