不同厚度TiN薄膜摩擦学性能研究.pdfVIP

第 38卷 增刊 人 工 晶 体 学 报 Vol. 38 Spec ia l E dit ion 2 009年 8月 JOURNAL OF SYNTH ET I RY STA LS Augu st, 2009 不 同 厚 度 T i N 薄 膜 摩 擦 学 性 能 研 究 陈新春, 杨义勇, 邬苏东, 王成彪, 付志强, 彭志坚 ( 中国地质大学 (北京 ) 工程技术学院, 北京 100083 ) 摘要: 用 中频磁控溅射镀膜机制备得到了各种厚 度不同 的 T Ni 薄膜, 研 究了 T Ni 薄 膜 的纳 米硬度、膜 基结合 力、摩 擦系数 以及综合摩擦磨 损性能。实验表 明: 用 中频非平衡磁控溅射制