花状掺杂W-VO2ZnO热致变色纳米复合薄膜研究.pdfVIP

物理 学报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．23(2014) 238101 花状掺杂W—VO2／ZnO热致变色纳米 复合薄膜研究冰 朱慧群 )十 李毅2) 叶伟杰 ) 李春波 ) 1)(五邑大学应用物理与材料学院，江门 529020) 2)(上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093) (2014年6月19日收到；2014年7月22目收到修改稿) 为解决掺杂引起的二氧化钒薄膜 的红外调制幅度下降以及二氧化钒复合薄膜相变温度需要进一步降低 等 问题，采用纳米结构、掺杂改性和复合结构等多种机理协同作用 的方案，利用共溅射氧化法，先在石英玻璃 上制备高 (002)取向的ZnO薄膜，再在zn0层上室温共溅射沉积钒钨金属薄膜，最后经热氧化处理获得双层 钨掺杂W—VO2／ZnO纳米复合薄膜．利用x射线衍射、x射线光电子能谱、扫描电镜和变温光谱分析等对薄膜 的结构、组分、形貌和光学特性进行了分析．结果显示，W-VO2／Zn