氧化处理TiNi合金薄膜的摩擦性能及其对滚动直线导轨滚道的防护.pdfVIP

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第34卷 第1o期 1030 CHINESEJ0URNAL0FVACUUM SCIENCEANDTECHN0LDGY 2014年 1O月 氧化处理 TiNi合金薄膜的摩擦性能及其 对滚动直线导轨滚道的防护 唐光海 张俊锋 焦 艳 董光能 杨华斌 (1．西安交通大学现代设计及轴承一转子系统教育部重点实验室 西安 710049； 2．中国船舶重工集团公司第七。四研究所 卜海 200031；3．西安赛特金属开发有限公司 西安 710021) TribologicalPropertyofOxidizedTiNiCoatingandIts Pr otectionofLinearRolling Guide TangGuanghai，ZhangJunfengz，JiaoYan ，DongGuangneng ，YangHuabin3 (1．TheoryofLubricationandBearingInstitute，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an710049，China； 2．hC ina ShipbuildingIndustryCorporation，Shanghai200031，hC ina； 3．Xi’anSaiteMetalMaterialsDevelopmentCo．，Ltd，X／’an710021，hCina) Abstract 卟etribologicalpropertyoftheTiNicoatings．synthesizedbymagnetronsputteringonthesurfacesofma— chines’linearrollingguide．wasimprovedbyoxidation． eimpactoftheoxidationtechniques：in—situvacuum oxida— tionat550℃ andex—situanodizedoxidation。onthetribologiealpropertyofTiNicoatingsWas investigated．Themi— crostmcturesnad mechnaicalpropertiesofhteTiNicoatings，beforenad afteroxidation，werechraacterized with X—ray diffraction，scanningelectronmicroscopy，nadconventionalmechanicalprobes．rhepreliminaryresultsshowthatbothoxi— dationtechn iquessignificnatlyreducethefrictioncoefficientoftheTiNicoatings ．Forinstance，underdryfrictioncondi— tion，thefrictioncoefficientofhteTiNicoatingWas reducedto0．17～O．19，60％ lowerthanthatofthecontrolsample (0．4～0．6)．Moreover，whenitcomestowera-resistnaceandfrictiondamages，in—situthermaloxidationoutperformsex— situnaodizedoxidation． Keywords Shapememoryalloyshtinfilm，Friction，Surfaceoxidation，Linera rollingguide 摘要 针对机床导轨类曲面，通过表面镀制TiNi合金薄膜来提高其耐磨性。 Ni晶态薄膜在干摩擦下虽具有优异的耐 磨性，有效降低粘着磨损，但 TiNi薄膜的摩擦系数偏大 ，一般在0