低Q值硅微陀螺仪自激驱动研究的论文.pdfVIP

下载本文档

4
0
约9.7千字
约 4页
2017-08-20 发布于安徽
举报
版权申诉

低Q值硅微陀螺仪自激驱动研究的论文.pdf

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第28卷第4期增硼仪器仪表学报 V01．28No．4 2007年4月 ChineseJoum“ofscientific111stn蚰ent ADL2007 低Q值硅微陀螺仪自激驱动研究夏国明，王寿荣 (东南大学仪器科学与工程学院南京210096) 摘要：本文研究了低Q值(低品质因数)线振动硅微陀螺仪自激驱动电路的基本原理．设计了针对低Q值陀螺的自激振荡驱动的电路．采用调制解调的方法检测微小电容变化量，得到了较好的效果。实验是在空气中完成的，实验结果表明：政电路能够在空气中实现硅徽振韵蛇螺仪的自激驱动，驱动输出信号的幅值、频率稳定性均较好。经测量频率稳定性标准偏差达到 0．07 Hz，幅度标准偏差o．029v。关键词：低Q值l硅微陀螺；自激驱动电路 Researchontheself二excitedcircuitofthe driving low—q siIiconmic附machined gyroscope Xia Guoming，WangShoumng (JH盯州榭fi删fP删d岛Fz榭九蜡h时if“阳，＆Ⅲ￡^阳耵队iw“匆，№可iHg捌00郎，c7lz越) Abst憎ct：Thebasic of siliconmicro-machinedisstudiedandasel卜excit— lo、Ⅳ_Q principledriving gymscope ed circuitof micro_machineddctailed the of lo、矿Q is described．With modula— driving gyroscope techn0109y tionanddemodulationthecircuitcanmeasureweak and a capacitancesignalgetgooddrivingperformance in result that is atmosphere．Tk showsthe standarddeviatIono．07Hz，andtheam— experimem frequency DlitudestandarddevlationisO．029V． micr0_machined circuit Keywords：loⅥ卜Q；silicon gyroscope；self．exciteddriving 微陀螺仪。它采用静电梳齿驱动，电容检测。由硅微 1引言梳齿谐振器的原理及动力学分析可知，梳齿驱动器作为一个二阶的机电耦台环节，其等效电气模型可通过硅微陀螺仪是一种角速度传感器，它具有体积小、线性器件模型来分析。类似于电子正弦波振荡器，梳重量轻、成本低、生产工艺与微电子加工技术兼容、适于齿驱动器同样可