三极场致发射显示器装配-封装结构制作研究.pdfVIP

纳米器件与系统，纳米材料 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 三极场致发射显示器的装配．封装结构制作研究 张云鹏1，李玉魁p(通讯作者) 1、华北水利水电学院电力学院，郑州，河南，450011 2、中原工学院电子信息学院，郑州，河南，450007 场致发射显示器是一种新型的固体真空平面显示装置，它充分利用了点阵式 冷阴极进行电子发射，在保留了阴极射线管显示器高图像质量优点的同时，兼 顾具有响应速度快、宽的工作温区、超薄型、低成本和色彩丰富等系列特点【1．3】。 所研发的三极结构碳纳米管阴极场致发射显示器的核心元件包括双层面板、 阳极及发光层、支撑板以及栅．阴极部分。双层面板是由两个厚度均为2ram的钙 钠平板玻璃构成，外层面板用来形成密封真空腔，而内层面板则是用来制作阳 极及发光层的，二者之间通过支撑块相互隔离并相互连接，支撑块的高度就是 内、外层玻璃面板的隔离距离。对于阳极及发光层部分，首先对双层面板中内 侧面板玻璃上的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极导电层和电极引线；在阳 极导电层之间印刷绝缘浆料，经常规的烘烤、烧结工艺后形成隐藏层；在阳极 导电层的上面制备荧光粉构成阳极像素点，形成发光层；通过对平板钙钠玻璃 进行切割和腐蚀，制作成支撑板，用于将阳极和栅极相互隔离开来并直接协助 双层面板用于抵抗器件密封真空腔的内外大气压力差，支撑板的高度也就是阳 极和栅极之间的距离。至于栅．阴极部分，同样是在另一块双层面板中内侧面板 上依次制作出栅极和碳纳米管，经后处理工艺后，碳纳米管形成用于电子发射 的阴极。将带有阳极及发光层的双层面板、支撑板、带有栅．阴极部分的双层面 板以及消气剂等附属元件都装配到真空腔中，并用平板钙钠玻璃切割形成密封 边框。 一 通过采用低熔点玻璃粉封接技术，提出了一种三极结构场致发射显示器的新 型装配．封装结构，并研发出了碳纳米管阴极场致发射平板显示器样品。独特的 内侧二次支撑结构在确保器件良好大面积制作的同时有效的减少了支撑板的数 量，避免了阳极图像显示面板的形变现象；阳极隐藏层的制作在有效提高图像 显示质量的同时兼顾固定封装了支撑板。整体显示器件样品具有良好的图像显 示功能和高的显示亮度。在图1中给出了HMD．06A型器件样品的场致发射特性 曲线图。从曲线中可以看出，在阳极电压为1．95kV时，当栅极电压为325V时即 开始有显著发射电流存在，且其场致发射电流随着栅极电压的增加而开始急剧 上升，从而使得器件呈现出了良好的栅控特性。在图2中给出了研制的HMD．06A 型三极结构场致发射显示器的发光图像。HMD．06A型器件样品能够显示具有一 定形状的图形图像，这说明该显示器件的x-Y矩阵寻址功能可以基本实现，同时 也证实了这种装配．封装结构的可行性。 【正文字数：963字】 参考文献 fabricationand of 111、ZengF．G，ZhuC．C．，LiuW．H．，eta1．，The operationfuuyprinted carbon nanotubesfieldemission displays[J1．MicroelectronicsJournal，2006， 37(6)：495-499； 【2】、郭平生，孙卓，陈奕卫等，碳纳米管，纤维阴极场发射平板显示器研制。华东师范大学 1 A一481 纳米器件与系统，纳米材料 中国微米蚋米技术学舍第十一月学术年台 学报。2005，3H1：29．33。 ㈣3、朱长纯，皇甫鲁江，淮永进等，碳纳米管阴极场致发射平板显示器的真空封装。西安交 通大学学报，2000，34(6)；102．104。 圈l三撮结构HMD-06A型器件样品的蛹致发射特性曲缱 田2研制的三极镕构HMD-06A型墒致发射＆示$件的发光图像