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C2 光电探测器件 理学院 宋旸 2 光电探测器件 2.1 光电探测器的物理效应 2.2 光电探测器的性能参数 2.3 外光电效应型光电探测器 2.4 内光电效应型光电探测器 2.5 固体成像器件 2.6 光电探测光源 2.2.1光电探测器的响应特性 2.2.1光电探测器的响应特性 ① 光谱响应率 2.2.1光电探测器的响应特性 ① 光谱响应率 2.2.1光电探测器的响应特性 光电转换 α越大，光在基板表面被迅速吸收 2.2.1光电探测器的响应特性 2.2.1光电探测器的响应特性 2.2.1光电探测器的响应特性 ① 光谱响应率 2.2.1光电探测器的响应特性 ① 光谱响应率 2.2.1光电探测器的响应特性 2.2.1光电探测器的响应特性 ③ 光谱匹配函数 2.2.1光电探测器的响应特性 ③ 光谱匹配函数 2.2.1光电探测器的响应特性 ④ 频率灵敏度Rf (响应频率fc和响应时间t) 2.2.1光电探测器的响应特性 ④ 频率灵敏度Rf 2.2.1光电探测器的响应特性 ④ 频率灵敏度Rf 2.2.1光电探测器的响应特性 探测器对突然光照的输出电流，要经过一定时间才能上升到与这一辐射功率相应的稳定值i。 2.2.1光电探测器的响应特性 以u，P，λ为参变量，i＝F（f）的关系称为光电频率特性，相应的曲线称为频率特性曲线。 2.2.1光电探测器的响应特性 量子效率：在某一特定波长上，每秒钟内产生的光电子数与入射光量子数之比。 2.2.1光电探测器的响应特性 灵敏度R是从宏观角度描述了光电探测器的光电、光谱以及 频率特性 量子效率η则是对同一个问题的微观—宏观描述。 2.2.1光电探测器的响应特性 从灵敏度R的定义式 2.2.1光电探测器的响应特性 噪声的存在，限制了探测微弱信号的能力。 通常认为，如果信号光功率产生的信号光电流is等于噪声电流in，那么就认为刚刚能探测到光信号存在。 2.2.1光电探测器的响应特性 ? 常需要在同类型的不同探测器之间进行比较，发现“D值大的探测器其探测能力一定好”的结论并不充分。 探测器的噪声功率N ∝Δf，所以 把两种因素一并考虑， 例：已知某探测器的面积为3×4cm2，D*=1011cmHz1/2w-1，光电仪器的带宽为300Hz，该仪器所能探测的光辐射的最小辐射功率？ 解：由D*的定义： 其中：Ad=3×4cm2，D*=1011cmHz1/2w-1，Δ?=300Hz 代入，得该仪器所能探测的光辐射的最小辐射功率Pmin=6×10-10W 2.2.2 光电探测器的噪声特性 主要分为:有形噪声和无规噪声 前者一般可以预知，因而总可以设法减少和消除。 后者来自物理系统内部，表现为一种无规则起伏。 (1)来自被研究系统的外部 通常由电、磁、机械、杂散光等因素所引起，这种干扰绝大多数是“人为的”，如 ●电源50H z干扰； ●工业设备电火花干扰等。 但这种干扰多具有一定规律性。 采取适当的措施(如屏蔽、滤波、远离噪声源等)可以将其减小或消除。 (2)来自被研究系统内部 来自被研究系统内部的材料、器件或固有的物理过程的自然扰动。 例如： ●导体中带电粒子无规则运动引起的热噪声， ●光探测过程中光子计数引起的散粒噪声等。 这些过程是随机过程，它既不能预知其精确大小及规律。 不能完全消除，但可以得知其遵循的统计规律、也可以通过一些措施予以控制。 2.2.2 光电探测器的噪声特性 噪声电压随时间无规则起伏情况。 显然，无法用预先确知的时间函数来描述它。 然而，噪声本身是统计独立的，所以能用统计的方法来描述。 长时间看，噪声电压从零向上涨和向下落的机会是相等的，其时间平均值一定为零。所以用时间平均值无法描述噪声大小。 2.2.2 光电探测器的噪声特性 噪声电压的起伏是毫无规则，无法预知的，但其方均根电压却具有确定值。 方均根噪声电压un，即 由于产生探测器起伏噪声的因素往往很多，且这些因素又彼此独立，所以总的噪声功率等于各种独立的噪声功率之和，即 2.2.2 光电探测器的噪声特性 2.2.2 光电探测器的噪声特性 2.2.2 光电探测器的噪声特性 2.2.2 光电探测器的噪声特性 2.2.2 光电探测器的噪声特性 按噪声产生的原因，可分为以下几类 1.散粒噪声： 无光照下，由于热激发作用，而随机地产生电子所造成的起伏（以光电子发射为例）。 由于起伏单元是电子电荷量e，故称为散粒噪声，这种噪声存在于所有光电探测器中。 热激发散粒方均噪声电流为 其有效值为 相应的噪声电压为 如果探测器具有内增益M，则上式还应乘以M。 散粒噪声是与频率无关与带宽有关的白噪声 2.产生－复合噪声 半导体受光时，载流子不断产生-复合。在平