光电探测器紫外波段(200-400)nm光谱响应度测量方法研究.pdfVIP

熊利民林延东樊其明王杰 (中国计量科学研究院北京100013) 摘 要g本文叙述了(200—400)nm波段光电探测器光谱响应度的测量方法。采 用紫外光谱强度大的氙灯作为光源，紫外分光效率高的单色仪进行分光，腔型热 释电探测器与标准硅探测器进行相对光谱响应比较得到光电探测器相对光谱响 应度。绝对值标定利用低温辐射计对无窗紫敏硅光电探测器进行测量后再传递到 标准硅探测器，最终测量出光电探测器在紫外波段的光谱响应度。本文对装置原 理，测量系统，操作系统，不确定度进行了阐述。 关键词：紫外、光谱响应度、光电探测器 概述： 紫外波段光谱响应度测量是和人民生活密切相关的。医学行业的紫外线消毒是最常用及 有效的方法，同时紫外线可以治疗各种疾病，增加人身骨化醇，进行医疗保健，在电子行业， 建筑采光，光敏胶的固化，超大集成电路的光刻，DVD技术发展等方面也拥有极为广泛的应 用。另一方面，过量太阳紫外也对人身体有许多不利的影响，并引起农作物的减产，毁坏人 造材料、油漆、纺织物等。 光电探测器的光谱响应度计量于1997年被围际光学计量组织CCPR(光度辐射咨询委员 会)和BIPM(国际汁量局)确定为光学计量领域的六项围际关键性比对之一。中国计量院 光电探测器可见波段(300nm--1lOOnm)光谱响应度工作标准于1987年完成，2000年建立 起近红外波段(900一1600)nm光谱响应度测量装置。2005年紫外波段光电探测器光谱响应 度装置，紫外部分扩展到200hm，不确定度为(4—6)％(k=2)，并参加了国际比对。 一．测量原理、装置及测量过程 1．1原理 绝对光谱响应度R，(入)是指光电探测器信号(电流I(入)或电压V(入)，本文采用电流 信号I(入)进行阐述)与投射在探测器上的光谱功率①(入)之比。 R，(入)=I(入)／①(九)(A／W) 光电探测器相对光谱响应度R。(入)则是绝对光谱响应度R，(入)在某一波长(通常为R，(入。)为 最大处)归一化： R。(入)=R，(入)／RP(入。) 首先选择波长范围、稳定性、表面均匀性和线性合适的探测器作为光谱响应度标 准的载体，我们选择和国际比对样品相同的大面积紫敏硅光电探测器，分别为UV01号，UV02 241 号，UV03号。然后用响应度与波长选择无关的腔型热释电探测器标定UV01号，UV02号，UV03 号，得到相对光谱响应度Rt(入)，最后在476．5nm用低温辐射计进行绝对值传递，得到绝对 ” 光谱响应度RP(入)。 ： 1．2绝对响应度定标 ，+． 。 低温辐射计的原理是电校准法。利用低温辐射计在476．5nm激光下标定出一只无窗光电 的方法，数据见图表： X Nol探测器在476．5nm响应度的平均值为0．24778(A／w)，标准偏差为3．310一。 1．3紫外光谱响应度标准测量装置 测量装置采用了功率为150W的点弧氙灯，配合相应的光路设计，可获得较强的紫外波 段辐射。单色仪适用于紫外波段(光栅闪耀波长200nm，效率65％)。使用的平面反射镜及 凹面反射镜采用紫外增反铝进行镀膜，使紫外功率衰减减小到最少。调制器采用了Stanford 生产的SR540调制器，斩波频率精度优于1％。 242 波长校验，(200--400)nm波长准确度优于0．2nm。 1．4测量过程 通过档屏、凹面反射镜1、平面反射镜2、斩波器把150 W短弧氙灯光成像在光栅单色 仪的入射狭缝上。斩波调制由稳定速度控制，输出信号送锁相放大器做参考信号，短 弧氙灯由高稳定稳流稳压电源供电。单色仪出射狭缝的辐射通过光学与滤光片组，凹面 反射镜2、平面反