液晶芳香族聚酯润滑膜摩擦学性能研究.pdfVIP

246 甘肃省化学会成立六十周年学术报告会暨=十三届年会论文集 液晶芳香族聚酯润滑膜摩擦学性能的研究 王海军， 王齐华 (中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室兰州73000 20世纪80年代中后期兴起的微电子机械系统(MEMS)泛指从纳米／微米到毫米数量级大小的电 子机械装置，通常是由机械、电子、光学及其它功能元件集成在单片或多片芯片材料上构成的智能系统。 这些装置在生物、医学、宇航、军事及工农业等领域具有广泛的应用价值【12】。在微型机械中，由于尺寸 效应的影响，降低和控制摩擦磨损以及摩擦力的稳定成为关键。摩擦和粘滑会影响装置的可靠性，磨损 会影响系统的寿命，对微型机电装置中的静摩擦研究表明，采用固体润滑膜可以降低摩擦和减小磨损， 从而可以提高微型机电系统的工作效率并延长其寿命【3J。 热致液晶聚合物是一种高强度高模量的新型高分子材料，具有优良的耐热性、尺寸稳定性、耐化学 腐蚀性、低热膨胀系数和等综合性能【4，5j。此外，热致液晶聚合物低的表面能和非常稳定的摩擦系数。 使其在微机电系统中的应用成为可能。液晶分子在高能量的表面平行排列，在低能量的表面垂直于表 面排列№J。因此我们可以用表面活性剂对摩擦副表面预处理来诱导液晶分子垂直于表面排列，使剪切 发生在柔性链段，从而获得较低而稳定的摩擦系数。然而，对液晶聚合物摩擦学的研究还不够深入和完 善，尤其是液晶聚合物固体润滑膜，更是鲜有报道。 为了深入研究液晶聚合物的分子结构与其摩擦学性能的关系，本文在单晶硅表面沉积了热致液晶 聚芳酯润滑膜，考察了润滑膜在大气环境下的摩擦磨损性能，并着重探讨了液晶分子在沉积表面的排列 方式对其摩擦学性能的影响。 1试剂与仪器 UENO 剂。 实验采用日本协和科学株氏会社生产的CA—A型接触角测量仪，在温度20℃测定蒸馏水与聚合 温速率为5．00℃／min。采用DF～PM型动一静摩擦系数精密测量装置考察了薄膜的摩擦磨损性能，以 q：3mmSi3N4陶瓷球为偶件，采用点接触单向往复运动方式，在载荷3N和2mm／s速度下进行摩擦磨损 实验，温度为18℃，湿度为30％一35％。 2固体润滑膜的制备 h[7I，取出后保存在于燥器中备用。 3沉积膜的表征 测定液晶聚芳酯固化沉积膜的DSC谱图，得到图1的结果。在聚芳酯的DSC谱图上出现了两个吸 甘肃省化肇会成i^十周年学术报告台嬖j十!届年会论女集 247 清亮点之闯，聚台物呈现{疫晶态，其熔体虽然其有普通流体的流动性和连续性，但同时也具有晶体分子 09有序性和光学各向异性。当温度超过304265℃即清亮点之后，骧台物的液品性能丧失。 t非N 一、 ＼ ＼ l一一-_==1一_3j Ei!!§========i (a) 鋈 H}II】s(二cIlnEⅡtheliquido删Ⅲ㈣c呻b吲口fJim 接触角测量是对固体表面变化敏感的种非常有效的手段。采用CAA型接触角测量仪捌定薄 兰一 膜对水滴的接触角．蒸馏水与未经处理的洁净单品硅片的接触角接近为霉，但沉积聚芳酯pHB／BP／ TPA后，接触角增大到91 289rrLN／m。这说明液晶聚台物已经成功地沉积到单品硅丧面。从单晶硅的电镜图片(图2)可以看出， 在其表面已沉积了一层致密而且均匀的润滑膜，没有发现任何缺陷(a沉秘膜横断面观察；b抗积膜表 面观察)。聚合物沉积膜可以降低单晶硅表面的牯着力，对表面起到保护和修饰作用。提高了基片的耐 酸、耐碱和耐有机溶刺化学腐蚀的能力。薄膜的其它一些物性参数见表1。 Tat：lel ProperIimoft№liquidLTrstaJ㈣c口Imtfilm ra1 Lo， F口2theSF．Minnge