类金刚石薄膜地摩擦化学研究.pdfVIP

2007年11月 第八届全国摩擦学大会论文集 November2007 类金刚石薄膜的摩擦化学研究 王成兵，张俊彦。 (中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州730000) 摘要；利用等离子体增强化学气相沉积技术存单晶硅表面制各了含氢类金刚石薄膜。在球一盘摩擦磨损试验机上考察了湿度 对薄膜摩擦磨损性能的影响，利用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱观察和分析了摩擦表面形貌和化学状态的变化情况。结果表 明，随着湿度的增加，DLC薄膜的摩擦系数和磨损率都增加。这主要是由丁薄膜表面氧化作用所致。 关键词：类金刚矗薄膜；摩擦磨损性能；湿度 由于类金刚石(DLC)薄膜具有优异的减摩抗磨性 表1为不同湿度下薄膜磨痕表面C，Ar，0和si的 能，是理想的固体润滑材料而得到研究者的重视。人 含量分析，其中Ar的存在是由于用甲烷和氩作为沉积 们对DLC薄膜的摩擦学性能进行了大量的研究并提出 气源，在摩擦过程中，氩的含量有所减少，这是由于 了氢表面钝化，石墨化、转移层等机理来解释DLC薄 在摩擦过程中氩原子从薄膜中去除。从该表中可以看 膜的摩擦学行为[1—3]。然而，这些机理并不能完全解 出在摩擦过程中随着湿度的增加，薄膜磨痕中的氧元 释DLC薄膜在不同环境气氛下的摩擦学行为。本文考 素的含量在不断的增加，这说明摩擦过程中氧化作用 察了窄气气氛下湿度对DLC薄膜摩擦学性能的影响， 在不断的增强。同时，si的含量也在不断的增加，这 着重从摩擦引起的物理和化学作用方面来讨论薄膜的 是由于随湿度的增加，Si3N4球表面的凝胶化作用增 摩擦磨损机理。 强，生成的非晶Si02在摩擦过程中转移到薄膜磨痕表 l试验 面，造成了Si含量的增加。 利用射频直流PECVD设备制备DLC薄膜。采用WTM比较XPS各元素含量的变化，可以推断在摩擦过 型可控气氛球盘摩擦试验机评价薄膜在不同湿度下的 程中可能发生了两种摩擦化学反应：一薄膜磨痕表面 摩擦学性能。摩擦对偶为Si3N4陶瓷球(直径4mm，硬的氧化反应；二Si3N4球磨痕表面的凝胶化反应。摩 ，法向载荷2N，摩擦时间为一小时，所擦化学反应如下： 有的试验都是在室温下进行。 氧化反应 (1)R—C—H+H20—R—C—oH 2结果与讨论 (2)RC 图1为DLC薄膜与Si3N4球对磨时的平均摩擦系 数与磨损率随湿度的变化曲线，从图中可以看出DLC C 薄膜与Si3N4陶瓷球对磨时其摩擦性能受环境湿度影其中R H代表薄膜表面的碳氢化合物。 响很大，随着湿度的增加摩擦系数和磨损率都在不断 在较高湿度下，Si3N4球表面与水反应生成硅酸 增加。 溶胶能够起到一定的边界润滑作用，对DLC薄膜的摩 擦性能有所缓解。但由于表面氧化作用占主导作用， 因此在较高湿度下，薄膜的摩擦系数和磨损率都有所 升高。 | 裹1不同湿度下薅跌磨痕衰面c．^r．0和si的含量分析 E } 图I不同湿度下薄膜平均摩擦系数与磨损率的变化 收稿日期：2007—07—18 作者简介：张傻彦，男，1968年生，博士，中科院“百人 3结论 计划一引进国外杰出人才”择优支持获得者。 空气中随着湿度增加，DLC薄膜与Si3N4陶瓷