激光划痕法测定薄膜界面结合强度地研究.pdfVIP

医蚕盎笺型鼻k一一2垦篁§全国煎±塞掌鲞迨壁 激光划痕法测定薄膜界面结合强度的研究 冯爱新张永康孔德军张雷洪 (江苏大学机械工程学院，镇江，212013) 摘要：界面结合强度足评价薄膜质量一项关键性指标，红外激光准静态划痕法是应用于测量硬质薄膜基体界面结合强度一 种新型的检验方法。分析了红外激光划痕、X射线衍射检测诊断和表面热透镜检测诊断等技术，研究了激光划痕试验法表征 薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程，其检测膜基界面结合强度方法可对试样进行非接触检测，适用于各种热障薄膜 的界面结合强度测量，具有深远的科研价值和广阔的工程应用前景。 关键词：激光划痕法界面结合强度薄膜 中图分类号：TN247 文献标识码：A onInterfaciaiAdhesionandBond Study Strength Film of LaserScratch by Testing★ FENGAi—xinZHANG KONG ZHANG Yong-kangDe-jun Lei-hong (SchoolofMechanical Engineering，JiangsuUniversity,ZhenjiangJiangsu212013，ER．C．) Abstract：Theinterfacialadhesionandbond betweenthinfilm andsubstrateisall indexof film strength coating key evaluating laserscratchof isnew methodof horninessfilminterfaeialadhesionandbond quality．IR quasi-staticstylechecking measuring is thathe offilminterfacialadhesionandbond istokenlaserscratch methodof strength．Itanalyzedtheory strength by testing．111e horninessfilminterfacialadhesionisnon·contact for isusedfor ofinterfacialadhesionand sample．It measuring checking measuring bond is scientificresearchand strength，andprofound foregroundofcapaciousengineerapplying． bond film scratch adhesionand Keywords：lasertesting，interracial strength，thin 1引言 强度的新方法，即界面残余应力检测诊析的激光划 一般沉积在基体表面薄膜是处于残余应力状 痕法技术，实现膜基界面结合强度的精确测量，对 态，薄膜应力影响着薄膜物理性质和晶体缺陷生 于薄膜材料深度开发和工程应用将具有积极的意 成，大量的拉应力可能产