基于四光束地镀膜监控研究.pdfVIP

纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 基于四光束的镀膜监控研究 许世军L2，任小玲3 (1．西安工业学院数理系，陕西西安710032：2．西安交通大学理学院，陕西西安710049； 3．西安工程科技学院计算机学院，陕西西安710048) 摘要：光学镀膜的关键技术是准确监控膜厚，以期监控薄膜的光学特性．针对通用镀膜仪膜厚控制稳定性和精度不高、自 动化程度低的状况，研究了全新的光电控制分析系统．提出四光束光电测试系统，采用双锁相电路系统和复合滤波的综合数 字处理系统进行镀膜信号处理，并通过控制分析系统实现监控．测试结果表明，反映膜厚控制重复性的膜厚标准偏差小于 0．55‰反射率显示分辨极限为0．02％，系统漂移的线性程度很高，静态漂移率接近0．新系统极大地提高了光学薄膜厚度监控系 统的静态、动态稳定性和膜厚控制精度，膜厚监控的整体性能指标比较高． 关键词：光电检测；膜厚监控系统；四光束系统；双锁相电路；复合滤波；稳定性；精度 Researchon Thin-filmBasedonFour MonitoringDepositingOptical Light Bearns 3 XU Shi-jun“．RENXiao—ling Institute 710032，China；2．SchoolofScience,Xian ofMathematicsPhysics，XianofTechnology,Xi‘all Jiaotong (1．Department 710049，China；3．School University,Xi’an ofComputer,Xi’anUniversityofEngineering 710048，China) aimsat for thin-filmisaccurate of thin-filmthickness，which Abstract：Thc monitoringoptical keytechniquedepositingoptical levelon characteristic．Foruniversal arelow and andautomation controllingoptical coatingequipments，whichstabilityprecision has thenew thin．film new controland been thickness，a analysissystem developed．Insystem,a monitoring photoelectric