应用潜变量回归在线补偿双直接进给轴热误差.pdfVIP

第 23卷 第 2期 光学 精密工程 Vo1．23 NO．2 2015年 2月 OpriesandPrecisionEngineering Feb．20l5 文章编号 1004—924X(2015)02—0430—08 应用潜变量回归在线补偿双直接进给轴热误差 林献坤 ，王益涵，朱 琳 (上海理工大学机械工程学院，上海 200093) 摘要 ：为 了提高直线 电机驱动 的双直接进给轴 的运动精度 ，对该类进给轴的热误差进行 了建模并研究了误差补偿方法 。 分析了双直接进给轴进给过程 中热误差产生的原因及其补偿 的复杂性，给 出一种基于潜变量 回归的双直接进给轴热误 差在线补偿方法 。该方法应用激光干涉仪测量进给轴的热变形量 ，使用热 电偶和红外测温仪测量进给轴关键点的温度 变化 ；通过时间匹配变形和温度数据得到统计样本并建立基于潜变量 回归的热误差识别模型。以模型的在线计算确定 误差补偿量 ，给出了与数控系统兼容的补偿控制输 出策略及补偿系统构建方案