高电阻率硅衬底上的微加工天线.pdfVIP

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2017-08-19 发布于安徽
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高电阻率硅衬底上的微加工天线陈强 V．F．Fusco andElectronic (Dept．ofElectrical Engineerimg TheQueen’S ofBelfast，UK) University 郑明P．S．Hall andElectrical (SchoolofElectronic Engineering The of UniversityBirmingham，UK) 摘要本文将讨论利III--+N的微加工方法在高电阻率硅衬底上的馓带天线的辐射边缘或槽环天线的槽边缘制作沟渠及导体悬挂效应以及这些沟渠对天线性能的影响。本文发现从硅片的背面制作的这些沟渠及导体悬挂效应能有效地减少基片的有效的电介质常数，改进天线辐射方向性图并增加辐射效率。关键词微加工硅片天线 Antennason SiliconWafers Micromachined HighResistivity I Introduction microwaveandmillimetrewave andslotantennaare antennastructuresfor Microstrippatch popular havethe of withtWOorthree—terminalactive antennas easyintegration applications．Slotlineadvantage deviceswithoutrecoursetOviaholes．Thisis attractivein monolithicand particularly planar inordertocombine from which activeantennaarrays highfrequencyenergymany technologiesrequire devices silicon(HRS)materialhasbeenshown tobeafeasible resistivity recently foundry together．High a dielectricconstant materialformicrowaveandmillimetrewavecircuits‘1’”．However。silicon，as high asa antenna insmallantennasize，narrowantenna material，e，一11．9，whenused planar substrate，results bandwidthandlOW