先进制造技术基础ATM课件——AMT Chapter 3 - sec 6 Scanning Probe Microscopy.pptVIP

Chapter 3 Advanced Manufacturing Processes Sect. 6 Scanning Probe Microscopy扫描探针显微镜 6. Scanning Probe Microscopy 建议阅读的论著（1） [美]陈成钧著，扫描隧道显微学引论，1996年12月第1版，中国轻工业出版社（2）白春礼，扫描隧道显微技术及其应用，1992年10月第1版，上海科学技术出版社 6. Scanning Probe Microscopy 6.1 概述 定义：扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）是扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, STM)以及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜AFM，激光力显微镜LFM，磁力显微镜MFM，弹道电子发射显微镜BEEM，扫描离子电导显微镜SICM，扫描热显微镜和扫描隧道电位仪STP等等）的统称。 6.1 Reviews of SPM 6.1 概述 6.1 概述 6.1 概述 SPM的特征：（1）SPM具有极高的分辨率。它可以轻易的“看到”原子，这是一般显微镜甚至电子显微镜所难以达到的。（2）SPM得到的是实时的、真实的样品表面的高分辨率图像。而不同于某些分析仪器是通过间接的或计算的方法来推算样品的表面结构。也就是说，SPM是真正看到了原子。（3）SPM的使用环境宽松。电子显微镜等仪器对工作环境要求比较苛刻，样品必须安放在高真空条件下才能进行测试。而SPM既可以在真空中工作，又可以在大气中、低温、常温、高温，甚至在溶液中使用。因此SPM适用于各种工作环境下的科学实验。（4）SPM的应用领域宽广。无论是物理、化学、生物、医学等基础学科，还是材料、微电子等应用学科都有它的用武之地。（5）SPM的价格相对于电子显微镜等大型仪器来讲是较低的。 6.1 概述 6.1 概述 6.2 扫描隧道显微镜Scanning Tunneling Microscopy 隧道效应：它是一个量子力学上的概念。将极细的探针和样品作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极 。这种现象即是隧道效应。针尖与样品之间的电流被称为隧道电流。 Considering an applied bias (typically 2mV ~2V) to the gap between the tip and the sample, when the gap is very large, no electron passes across the gap. When the gap becomes so small (0.5-1.5nm wide) that the wave functions of two surface overlap, the applied bias drives the electrons to “tunnel” across the narrow gap, resulting in a tunneling current. 6.2.1 STM的工作模式 6.2.1 STM的工作模式 恒电流模式: 利用电子反馈线路控制隧道电流的恒定，并用压电陶瓷材料控制针尖在样品表面的扫描，则探针在垂直于样品方向上高低的变化就反映出了样品表面的起伏。检测信号是探针相对于样品的运动位移z (x)。这种扫描方式的特点：可用于观察表面形貌起伏较大的样品。 恒高度模式: 控制针尖高度守恒扫描，通过记录隧道电流的变化亦可得到表面态度的分布。这种扫描方式的特点：可用于起伏不大的样品表面（表面起伏不大于1nm），扫描速度快，能够减少噪音和热漂移对信号的影响。 6.2.2 STM的检测原理 6.2.3 STM的特征 优点：(1)具有原子级高分辨率。STM在平行和垂直于样品表面方向的分辨率分别可达0.1nm和0.01nm，即可分辨出单个原子。(2)可实时地得到在实空间中表面的三维图像，用于具有周期性或不具备周期性的表面结构研究。这种可实时观测的性能还可用于表面扩散等动态过程的研究。(3)可观察单个原子层的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性质。因而可直接观察到表面缺陷、表面重构、表面吸附体的形态和位置以及由吸附体引起的表面重构等。(4)可在真空、大气、常温等不同环境下工作,甚至可将样品浸在水和其它溶液中,不需要特别的制样技术,并且探测过程对样品无损伤。(5)配合扫描隧道谱(Scanning Tunneling Spectroscopy), 可得到有关表面电子结构的信息。例如表面不同层次的态密度