具有脊波导结构的长波长部分增益耦合型分布反馈半导体激光器.pdfVIP

具有脊波导结构的长波长部分增益耦合型 分布反馈半导体激光器1 孙长征2，文国鹏，罗毅3 集成光电子学国家重点联合实验室·清华大学电子工程系 北京100084 李同宁，杨新民，王任凡，王彩玲，金锦炎 武汉电信器件公司，武汉430074 摘要：本文从理论上分析了15s“m脊波导结构增益耦台型分布反馈半导体激光器的优化设计并进行了实 ·际器件的制作．实验中采用增益与折射率混台光栅引^部分增益耦台，并采用倒台形状的脊波导结构以实 现横模限制。制作的器件实现了单模工作，闽值电流20--30mA，边模抑制比大于30dB。 随着现代光纤数字通信不断向高速率、大容量和长距离方向发展，要求作为光纤通信 系统光源的半导体激光器具有窄线宽、抗干扰、动态单模，以及高可靠性和低成本等特点。 由于激光器模式(包括纵模、横模)的不稳定会引起激光器输出功率的抖动和电流～光输出 (I—L)曲线的扭折，造成通信系统的附加噪声，因此在高速数字光纤通信中，需要采用具育 动态单纵、横模特性的光源，以保证激光器的纵向和横向模式的稳定，提高系统特性。 理论分析和实验结果均表B强III[2]，含有增益耦合机制的分布反馈fDFB)半导体激光器 可以有效地实现动态单纵模工作，并具有输出线宽窄、模式选择能力强，以及制作工艺简 单、单模成品率高的优点。同时，采用脊波导结构对半导体激光器的横向模式进行限制， 可以有效地改善其输出的线性和稳定性，并获得较低的阂值。而且，与沟道掩埋异质结等 其他的横模限制结构相比较，脊波导器件制作二艺简单．成品率高，具有更好的高频及温 度特性。因此，可以实现完全动态单模工作的脊波导结构增益耦合型DFB激光器是目前极 具应用前景的半导体光源。 本文首先对影响脊波导结构DFB激光器横模限制特性的因素进行分折，然后根据理沦 分柝的结果，进行IIlGaAsP，IIlP材料的脊波导结构部分增益耦合DFB激光器的优化设计：铀 制作，最后给出器件特性的测量结果。 二、脊波导脊宽对横模限制能力的影响 脊波导结构属于准折射率波导结构，通过对导波模式的渐消场提供导引以实现横模限 制，同时对注入载流子的横向扩散有一定的限制作用。脊波导育两个重要参数：脊宽∥相 肩高f．它们直接影响脊波导结构的横模限制能力。为实现单横模工作．需要合理选择脊育 和肩高，使激光器工作于一阶横模截止区。 脊波导结构的脊宽∥和肩高f对激光器横模限制能力的影响是密切联系的：在脊宽一 定的条件下，有一最小允许肩高：而肩高一定的情况下，存在一最大允许脊宽，即一阶横 模截止脊宽哌。在实际的脊波导激光器中．过窄的脊宽存在制作上的困难，且导致输出功 率降低，而过大的肩商会降低脊区与宿区的等效折射率差，削弱脊波导的横模限制能力。 因此，需要通过理论分析确定一阶横模截止脊宽异二，以便合理地设计脊波导的脊宽W和肩 高t．实现最佳的横模控制。 ：孙长征男，1970年生．博士研究生．研究方向为单片光子集成器件及其高频特性。 3罗毅男，t960年生，}葺华大学教授、博士生导师，从事半导体光电子学方面的研究。 253 如图1所示．可以将脊波导结构分为脊区l和肩区II。由于介电常数沿结向的变化比 垂直于结向要缓慢得多，作为～种良好的近 肩区 脊区 肩区 似，可以将脊区和肩区看作分别具有等效折射 11 I 率”胡和rteffJl的多层介质平板波导，而且”卿 n ，Teffll。因此，脊波导的横模限制能力可以等效 为芯区和包层折射率分别为”唧和月。脚的三层 对称平板波导进行分析。由介质波导理论可 至 肩高c 知．脊波导一阶模截止脊宽％为