In2O3基NO2气体传感器的探究.pdfVIP

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2017-08-19 发布于安徽
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In203基N02气体传感器的研究刘凤敏，陈丽华，全宝富 (吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室，长春130012) 03粉体，采用x射线衍射(XRD)的方法得到了粉体的晶体结摘要：利用化学沉淀法制备了In2 构。颗粒尺寸为纳米量级。以In20为基体材料，制作了烧结型旁热式气敏元件，通过田相掺杂的好的敏感性，对Sq，CO，CH。，Ch四种干扰气体的灵敏度较低，表明元件具有良好的选择性。关键词：低温；二氧化氮；传感器 ’ Researchon BasedSensors In203 N02 Bao-fu LIU Li—hua，QUAN Feng-min，CHEN (StateKeyLab．ofIntgrgratedOptoelectronics， ElⅢn％icience Collegeof chemical method．Thestruc— was crystal Abstract：TheIn203powderpreparedby precipitation llanoscale sizeofthe weredeterminedX tureand In203 by ray particle powder ofthesintered thermalsensorsbasedonIn203 analysis．Thegassensingproperties a枷acent pow— derweremodified a method．When islower solid-phasedoping operatingtemperature through elementswith than100℃and andN02 weretested，itisfoundthatboth S()2，CO，CH4，C12 gases are sensitiveto andthe oftheele— 2％PdCl2andwith5％ce02 N02gas selectivity dopingvery mentisexcellentbecausethe toS02，CO，Cl-hand(312are low． sensitivity gasesvery “ words：low Key temperature；N02；sensor