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低温容器氦质谱检漏工艺.doc
氦质谱检漏工艺
内罐检漏（经冷冲击和气密试验合格后）
去处内罐可能残留的水份；
内罐组件上的引出管留一根管道连接真空泵以外，其余管道的端部均用不锈钢板材封闭焊接；
连接真空泵的管道焊接一个抽空阀门；
清洁内罐管组件外表面灰尘；
连接抽真空的真空泵和氦质谱检漏仪；
启动真空泵对内罐抽真空；
启动氦质谱检漏仪；
调整氦质谱检漏仪至备机状态；
先关闭抽空阀，检测抽空管路的密封性，仪器应无泄漏指示；
确认抽空管路无漏后，重新开启抽空阀，对内罐继续抽空，直至管内真空度基本稳定；
开始正式检漏前，应确定施氦的方法并作好准备（如采用喷氦法检漏，准备好氦气和喷枪。若是采用罩氦法检漏，应准备好罩袋或封带及其氦气供应管。）
确认氦质谱检漏仪的仪器本底噪声后，调整好氦峰；
启动灯丝，缓慢开启节流阀，缓慢地逐步关小真空泵前阀（如果节流阀能全开和真空泵前阀全关的状态下，氦质谱仪仍然可以维持检漏所需要的真空，是最佳的检漏状态。如果无法维持检漏所需要的真空，则可适当开启真空泵前阀或适当关小氦质谱仪上的节流阀，调整到质谱室内的真空度满足检漏要求为止。）
节流阀和真空泵前阀调整好开度以后，记录系统的本底噪声；
施氦，仔细观测仪表变化（也可开启蜂鸣器监听）
如果喷氦法检漏，喷氦顺序应从最高的焊缝开始逐渐向下喷氦；
如果整体罩氦检漏，应尽可能去除氦罩内的空气后再施氦；
如果以每条焊缝分别罩氦，可用宽度为（150～200）
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