双面柔性神经微电极制作方法地研究.pdfVIP

微洫拄芯¨实骑窄进展 双面柔性神经微电极制作方法的研究 ＼＼、／ 周洪波‘2李刚12赵建龙‘ l 中同事悖院t海徽系统1，信息技术研究所上海200050 2中国科学院研究生院』匕京 100039 摘要：山r撼小植八损伤，提商神经微电极刺激战记录的空问密度，率文提出了种基于聚 台物蘑质材料的植入式烈面柔性神终微电极的制作l艺和方法。该力法采Hj光敏’矬聚酰亚胺 (Durimide7510)作为微电掇的基底材料，开通过种墼于虎力集中的刚槽结构设计和电 化学释放方法结台局部键台r艺实现r双面电极的制作，微电极的SEM和电学性能洲试结果 表明，微电投的结鞠厝虢和{乜学性艟满足植A式也极的要求。 关键词：般面莱陛微电摄；神经L样；聚酰弧胺：局部键台 一、引言 近年米，秉性神经微电极以其眭好的弯曲性r可咀操证屯极’_神经雏纵的良好贴台)， 以疑较小的植入损伽，引起越米越多甜f究肯构笑注[1]。t!是，神经r程系统巾，如州再有 限损伤情况r实现高密度电极植入，保iE高选抨性ln刺激战记录，一赢是人们关注的一个难 点[2j，孵前|：Ij自；i’各姘究小缀制计阿秉性徽电极晌电极化点排布形式大多为苹面，即H在 、F断露性^#厩材料的某‘积存在熊鼯的电极位点，大j、限制了植入的lb极恤点密度。田此， 本文提…r一种般面秉性神经徽电极的制竹：r艺和方法，以期在同样*、入损帮』情况F，提高 7610)拍。为微 神经微l乜极刺激戏记录的宅问鬻皮。改疗法采Hl光敏删策酰娅啵fI／urimide 电极楚幢材料，』t通过琏¨避力集中的川椅结构设计、}b化学腐蚀牺牡层的平{；放方法和局部 键☆l艺实现r般面柔性微E娃极的砖使、低成奉制作。 二、加工 兰震军 目1口《|n*§张自‰mImi意匿 舣丽柔性神经微电极的制作I岂流稃如F(蜘例l所示)：菏先在硅基表面蒸发金属铝， 6809)， 7510，PI)(瞄1a)；然后，旋涂光刻胶(Shipley 井旋滁光敏性聚酰砸胺(Durimide 溅射金属Ti／Pt，通过liftoff。l‘艺，形成电极刺激伊点阵列及导线(图lb)：旋涂光敏性 聚酰监胺，光刻显影开放外接导线焊点窗口(图1c)；局部键台、电化学释放完成微电极翻 转(耐ld，e，f)；同以上步骤(圈la_c)，制作背面电极(蹦lg)；最后，利埘凹槽结构． 将微电极从基片上群放r来(幽／d)，完成双丽柔性微电极的制作。 三、结果和讨论 1，双面菜性电极的设计 这里针对视神经刺激的应州，我们设计了种具确16个l_I；l}蜃球I激忙点(4×4)的般而 pmXl00“m(如图2 柔性电极，球H激区域大约2哪×15舢，屯极刺激忙点人小为100 甚制作技术 所示)。 相对于单面微电极．双面电极同时拥有正面和背面两个r作面(如图2所示)，冈而对 于同样刺激或记录密度要求，可以减少植入电极数日，进『_iji减少微电极植入过群中的损伤。 所以般面电极能在同样的损伤情况卜，提高电极的密度，实现高密度电极。 ^ 哪吨 口苫翌玉噩噩 目3 ca)m辑位点月蕾％片；(b)自极垂性： c)m恒位虎嚣匪s叫田，(d)电扳善缱蕾i鞭-目 2．徽电极的膨靛 图3a显示电极具有光滑的表面．拐角处圆滑，且具有很好的柔性(国3b)。圈3c、d分 别是制作的双面电极的电掇位点和金属电极引线的截面的s翻图。图中，白色的亮线是钛／ 铀金属。在图中可以清楚的观察到电极的烈层金属结构，两层金属被聚酰亚胺绝缘层隔开。 同时，金属层旱现平坦、连续的形貌，保证了微电报电极位点的平坦光滑和连续的电学连接。 3．微电报的电学特性 利用生理盐水结合阻抗分析仪对双面电极 的正反两面电极分别进行了电学性能测试。闰 4a和图4b分别是双