黑金红外吸收层制备及特性.pdfVIP

316 第三届红外成像系统仿真、测试与评价技椰．-1-会论炙集 2011年9月 黑金红外吸收层制备及特性 王彬，赖建军，陈四海 (武汉光电国家实验室，华中科技大学光电子科学与工程学院，湖北武汉430074) 摘要：利用蒸发方法在氮气氛围内成功制备了黑金红外吸收层。分析了黑金多孔结构的形成并 对黑金薄膜在不同氮气压下的厚度、密度及填充率进行了测量．利用傅里叶变换红外光谱仪测试得 到了较低的黑金吸收层反射率，表明其具有很好的红外吸收效果．为今后红外探测器集成黑金吸收 层奠定了基础。 关键词：黑金，红外，吸收，多孔结构 具有较好中红外波段吸收特性的黑金层。图1是用来 0引言 制备黑金薄膜的蒸发腔示意图。利用99．99％纯金， 微测辐射热计等红外热探测器通过测量敏感单 元对红外辐射引起的温度响应来进行探测。红外热探 测器要获得高灵敏度和短响应时间需要红外吸收层 具有低热容和高红外吸收的要求。提高相应红外探测 性能的迫切需求要求红外焦平面及相关技术快速发 展【11。 金属黑膜首先由Pfund发现在红外波段辐射上 具有良好的吸收性能。上世纪50年代Harris等人开 始广泛地研究基于金以及其他金属的金属黑膜t2-4]。 研究包括黑金在内的金属黑膜的意义主要在于能够 图l黑金沉积系统示意图 Schematic 增加热探测器如氧化钒探测器掺J对红外的吸收率，使 Fig．1 ofgold-blackdepositionsystem 宽谱红外吸收层能够更好地与传感器集成，通常集成 将其放置在蒸发室的蒸发篮内，蒸发篮与样片衬底距 在敏感层之上，最终达到提高传感器性能的目的。由 离约12cm，中间有可自由控制开关的挡板。蒸发篮 于黑金薄膜具有的多孔以及热容低的特性，红外吸收 两端的钨丝连接加热电极，通过电极电流控制蒸发功 波段宽并且吸收效率高等明显优点，使得黑金薄膜被 率。腔体清洗干净后，将准备的材料放置到蒸发篮内。 广泛关注睁引。基于此，实验室结合自身条件探索和 发展了相应的黑金薄膜制备技术，使其能够满足红外 将蒸发室抽真空，真空度达到8×10‘4Pa后控制气体流 探测器发展需要。 量计向蒸发室内充入高纯氮气达到目标气压值并维 持一段时间，以防氧化氮和水汽生成。通常制备的黑 1实验 金材料粘附力低且极易破碎不利于集成，所以对样片 衬底进行加热烘烤。加热烘烤温度100～120℃，这样 黑金薄膜在较高的氮气氛围内通过蒸发镀膜获 制备的薄膜具有较强的附着力。通过控制电极电流改 得。实验的目的是能够获得具有粘附性强，多孔状且 变功率来达到控制黑金薄膜沉积速率和时间。通常需 收稿日期l201l斯．22 作者简介：王彬，男，博士生，主要从事MEMS及红外探测技术方面的研究． 型：：! !兰：：：：：：!：：：!塑：!：±2竺鎏 尘 要上千度高温才能进行燕镀。通过蒸发室的观察宙可 的菜花状多孔结构。菜北状的黑金颗粒山更细小的纳 以观察到盘逐渐融化成球状．直到最后消失即停止蒸 米尺度的微粒