利用TEM对Si基片和MgO基片上生长的薄膜特性的研究.pdfVIP

希{f用TEM对si基片与MgO基片上 生长的薄膜特性的研究 昌路康琳刘希赵少奇吴培亨 (南京太学电子科学与工程系超导电子学研究所南京210093) 膜NbN／AIN／NbN应用透射电子显微镜技术进行了分析研究，对这几种薄膜样品的微观结构、薄膜厚度 以厦各个边界的一些直观细节给出了较为清晰的图像。由透射电子显微镜的电子衍射图案计算了薄膜 和单晶衬底的晶格常数。 关键词TEM，透射电子显微镜，薄膜，电子衍射图案 theidiocraticsoffilmsonSiandon Study MgO Lin，Liuxi，ZhaoShaoqi，WuPeiheng ChangLu，Kang Instituteof (Research SuperconductorElectronics(RISE)，Deparlment ofElec