一种基于EWOD效应地微流体控制芯片研究.pdfVIP

第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 、r01．29No．4 2008年4月 ChineseJoumalofScientificIn蚰mment Apr．2008 一种基于勘№D效应的微流体控制芯片研究 朱亮1’2叶雄英1’2冯焱颖1’2武雁斌1周兆英1 (1精密测试技术及仪器国家重点实验室，精密仪器与机械学系清华大学北京lO0084； 2传感技术联合国家重点实验室北京100084) 摘要本文介绍了一种基于EwOD效应的微液滴控制芯片，该芯片利用硅微加工工艺制作，以多晶硅作为电极和si02作为绝 缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验，测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能．结果表明，在电压小于80V 的时候，接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6．98mfn／s。实现了液滴的四个基本操作 动作：产生、合并、输运、分割。 关键词介质上电润湿液滴微流体微机械加工 ona ChbasedonEWoD ip studyDropletoperating l，2 l，2 12 l l Zhu Ye WuYanbinZhou Liang XiongyingFengYanying Zhaoying Me璐wPr舶nt1klnd l凇打umems 《|．SImeKcyL口bor口tory《Precision 0．秽口托dlmtnlments．DePl．P心cision Mech∽olo科殛inghmUn她．Bejing’lo0084：2．St口leKey on on AbstractInthis ba∞d 0peratingchip EIectfowetting papefad∞plet silicondioxide Tlle silicon with silic叩硒electn硼es跏d micromachiningpolyc巧Stalline chipw笛fabricatedby EWoDandtestedthe of 雒dielectric．We droplet ba辩don implem蛐tedcontrolling t0thetheoretical the resultsshowthatthecomact of we陀cloSer chip．TheexperimentaI aJlglesdropletS within80VAC．The ofthe moVememto6．98 the predictions Ia唱eStspeed droplet w邪up mm／s，鲫d droplet fundamental of wereachieVedEWOD