热场设计.xlsVIP

18-20-22比较 2408热场尺寸 2208热场尺寸 2208热场设计原则 调整热场 2208机械尺寸 名称 名称 代号 计算公式 H ρ D1 D2 L D a R总 R S a*b b D2-D1 /2 ρ*∑L/2*S ∑L a+c /2 n*L+ a+c *nπ/2 D1+D2 /2 H- h1+h2 c πD-nc /n R/2 h2 h1 名称 电流A 功率KVA 加热器电压、电流、功率匹配 加热器电阻近似计算 电压V 电流A 反算电阻Ω 序号 下炉筒 中炉筒 尺寸mm 符号 公式 电压V 电压 电流 功率 电阻Ω 总电阻Ω 加热器 三瓣埚 托柄 序号 下保温筒 中保温筒 上保温筒 导流筒 石英坩埚 熔料状态 引晶状态 收尾状态 埚托 加热器电压、电流、功率拉晶记录反算电阻值 加热 引晶 放肩 转肩 等径 收尾 平均值 加热器尺寸确定步骤和原则 1.由晶体直径：石英坩埚内径＝1：2.5～3，确定坩埚的内径；同时要考虑SiO的挥发和气流的急缓、直径控制信号的采集等。 5.加热器壁厚主要通过计算得出，也可以预先设值，再根据电压、电流匹配调整。 2.石英坩埚内硅熔体的高度一般为坩埚内径的0.4倍左右，要考虑固态硅料和液态硅料的体积变化和投料量，然后确定石英坩埚的总高度，可以用试装来验证，同时要兼顾石英坩埚厂家提供的不同规格石英坩埚的参考尺寸。 8.中保温筒一般高出加热器上沿20-25mm，上保温筒的高度考虑到导流筒一般深入加热器约60-70mm进行调整。 10.要考虑到加热器耐用、稳定和便于取出。 炉底为平底 石英坩埚外径＋2～3mm 内径＋32～41mm 名称 代号 计算公式 内径 外径 高度 1考虑到强度； 3.结构力学知识； 三瓣埚设计原则 2.与埚托的配合；与石英坩埚的配合； 外径 高度 3.加热器有效发热区长度一般为液体深度的2.1～2.5倍，可以根据需要的加热器电阻值进行微调，加热器的总高度要考虑单晶炉的下炉筒和中炉筒的机械尺寸以及整个热系统的装配尺寸。 6.加热器开槽缝宽在4～10mm，开缝距加热器顶部和下部的距离约等于或略大于片宽。要考虑到开槽后强度。开槽距顶部和底部距离可以相等或距顶略小于距底 如5mm左右 。 托柄设计原则 外径 内径 内径1 内径2 D外 H D内1 D内2 与三瓣埚底部尺寸1匹配 与三瓣埚底部尺寸2匹配 能支撑三瓣埚和料的重量 根据三瓣埚底部角度和结构强度 埚托设计原则 与埚托底部尺寸配合 1.结构强度 2.与三瓣埚、托柄的配合 1.结构强度； 2.同心度，过长可以设计成两段式；平面的水平易于构建和加工 考虑到单晶炉坩埚轴的有效行程,硬限位、软限位和实际升降转动的空间距离限制。整个拉晶过程不锈钢轴尽量不要进入炉筒内，同时不要将波纹管拉的太长。上限位时石英坩埚上沿离保温大盖约15mm左右。根据所设计的投料量、埚底剩料量来计算坩埚行程和托柄高度。 计算值 有效加热区高mm 开槽距底尺寸mm 加热器内径mm 加热器外径mm 开槽宽度mm 单片电阻长mm 平均直径mm 每片弧长/片宽mm 端头圆半径mm 电阻总长mm 加热器壁厚mm 每片电阻面积mm2 电阻率Ω.cm 下保温筒设计原则 内径＋16～26mm 装配后高出加热器上沿20～25mm，一般略大于有效发热区高度10～30mm 中保温筒设计原则 1.中保温筒高度一般控制在600mm以下，过高不容易加工，可以做成两段式，拼接缝在下部，不要对分，不要在恒液面附近。 2.考虑到强度。 1.卡口设计，偏于定位。 计算值 3.排气孔处强度要求，与电极脚的距离。 装配的尺寸不要高出下炉筒 2.装配后不要高出下炉筒。排气口的位置。 卡口设计，与加热器脚距离，与中保温筒尺寸配合 上保温筒设计原则 强度要求，与炉壁距离，厚度适中，底部保温，拉长恒温区 加热器内径＋30～60mm，卡口设计 导流筒设计原则 石英坩埚设计原则 根据导流筒深入加热器60～70mm调整，坩埚位置；加热器上沿和保温大盖间的距离 卡口设计 1.石英坩埚位置位于高温区中心线上部，坩埚底部接近中心线。 根据投料量，最佳液体深度，厂家参考尺寸而定 晶体直径：坩埚内径＝1：2.5～3 3.参考厂家提供的不同规格的尺寸。 内径＋36～50 1.经常取出，要尤其考虑到强度要求； 2.适当薄些，构造温度梯度； 下口内径 上口内径 热场调整 2.石英坩埚位置位于高温区中心线上部，坩埚底部接近中心线，可以做上下50mm左右调整。 3.上部保温性能变差，形成的晶体过冷引入缺陷，固液界面波动大，放肩困难。 1.整套热系统依靠石墨件定位。尽量减小热惯性。 5.合理热场使用长时间后，热性能参数会发生变化，应该及时调整或更换热部件。同时可以改变拉晶工艺或变动坩埚位置。 2.与三瓣埚的配合；R角和