第03篇 电子显微分析术.pdf

第三篇 电子显微分析术 利用电子显微镜观察和分析材料的微观组织结构 的方法，称为电子显微分析术 电子显微镜主要包括：透射电镜、扫描电镜和电 子探针 电子显微镜的分辨率很高，目前透射电子显微镜 的分辨率优于0.1nm，已达到原子尺度 通常，一台电子显微镜可兼有微观组织形貌、晶 体结构、微区成分等多种分析功能 第一台电子显微镜于20世纪30年代问世，经历了 几个阶段的发展，使电子显微分析技术已成为材 料科学等研究领域中最重要的分析手段之一 1 第三篇 电子显微分析术 本篇主要内容 第八章 透射电子显微镜 第九章 电子衍射 第十章 薄晶体的衍衬成像分析 第十一章 扫描电子显微镜和电子探针 2 第三篇 电子显微分析术 本篇主要内容 第八章 透射电子显微镜 第九章 电子衍射 第十章 薄晶体的衍衬成像分析 第十一章 扫描电子显微镜和电子探针 3 第八章 透射电子显微镜 本章主要内容 第一节 电子光学 第二节 透射电子显微镜的结构与工作原理 第三节 主要部件及其工作原理 第四节 分辨率和放大倍数的测定 4 第一节 电子光学 光学显微镜的分辨率极限为200nm ，约为光源波 长的一半，表明提高显微镜的分辨率关键在于减小 光源的波长 作为显微镜光源所需具备的先决条件是，首先要具 有波动性，其次有能使其聚焦的装置 1924年经电子衍射实验证实，波长比可见光短十万 倍的电子具有波动性； 1926年发现用轴对称非均 匀磁场能使电子波聚焦，使电子波作为显微镜光源 成为可能 在上述基础上，于1931年设计并制造出世界上第 一台透射电子显微镜 5 第一节 电子光学 一、电子波的特性 1.电子波的波长 电子波波长取决于电子运动速度和质量，即 h λ (8-1) mv -34 式中，h 是普朗克常数，h = 6.626×10 J⋅s；m 是电 子质量，它与加速电压U之间存在如下关系 1 2 mv eU 2 即 v 2eU (8-2) m 6 第一节 电子光学