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第四篇 电子显微学 第 1 章 电子光学基础 1.1 电子的波动性原理 由于可见光波长的限制，导致光学显微镜的分辨本领有限，所以需要寻找波长更短的波作为光 源，以提高分辨率。例如，选择紫外光（3900～1900Å）作为光源，其分辨率只能达到 100nm。而 对波长更短的 X-射线（100～0.5Å ）来说，至今人们还没有找到合适的物质使之能有效的产生折射、 会聚现象。1924 年德布罗意（De. Broglie ） 等人创立了波动力学，提出物质波的概念，指出高速运 动的粒子不仅具有粒子性，而且具有波动性。从而作为粒子的电子其也具有波动性，这个假设不久 被电子衍射实验所证实。 根据德布罗意物质波原理，电子的波长 为：  h mv （4-1-1 ） 其中 h 为普朗克常数，等于 6.624×10-34J·s ；m 为运动电子的质量；v 为运动电子的速度 从公式（4-1-1 ）可知，电子的运动速度越高，其波长越小。 首先讨论慢电子的情况，即不考虑相对论修正，电子的运动质量与静质量相等。现有一电子受 到电压 U 的加速，如果假设电子的初速度为零，那么通过电压U 的加速，电子的速度v 为： 2eU v m （4-1-2 ） 电子的波长为： h 12.25  2meU U （Å ） （4-1-3 ） 对于低于 500eV 的低能电子 ，用公式（4-1-3 ）计算波长已经足够准确，但是一般在电子显微 镜中，电子的加速电压一般在十几 kV 或者更高，此时需要对电子的波长做相对论修正，在此情况 下，电子的波长 修正为： 12.25  U10.9788 106 U  （4-1-4 ） 表 4-1-1 给出了不同加速电压下电子的波长： 从表 4-1-1 可知，电子的波长比可见光的波长（7600～400nm ）短得多。以电子显微镜常用的 100KV 加速电压下，电子的波长只有 0.0037nm，约为可见光的十万分之一，从而就波长来说 ，电 子显微镜的分辨本领较光学显微镜有大大的提高。然而电子不同于光子，在普通的光学透镜组下不 - 1 - 会发生折射、会聚现象（即光学透镜对于电子束是不透明的），所以利用光学透镜是不能够使电子束 会聚放大的。在电子光学系统中所用的透镜为电磁透镜，它们可以使得电子发生偏折会聚。下面将 介绍电磁透镜的光学性质。 表 4-1-1 不同加速电压下电子的波长 电子波长 经相对论修正的 电子波长 经相对论修正的 加速电压（kV ） 加速电压（kV ） （Å ） 电子波长（Å ） （Å ） 电子波长（Å ） 1 0.3878 0.3876