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4.8 气敏传感器 基本原理 利用气体的物理化学性质，将被测气体的某些 特定成分转换成便于测量的电信号。 特点： 可测量气体浓度成分等物理量。测量范围宽， 精度高，灵敏度高，工作可靠，体积小，成本低。 应用： 工业、农业、生活、国防、防灾、医疗、环保 等各个领域。? 气敏传感器分类 1、工作原理不同： a、物理性：通过电流、电导率、光的折射等物 理量的变化来实现气体成分的测定的。 b、化学性：通过化学反应或电化学反应引起物 理量的变化实现测量的。 2、组成材料不同： 半导体 非半导体 气敏传感器中，半导体式气敏元件的发展最为 迅速，便于与后继的放大器集成，应用最为广泛。 按半导体气敏传感器的性质，又可分成电阻型和非 电阻型两种。 电阻型半导体气敏传感器利用半导体接触气体 时，其阻值的改变来检测气体的浓度或成分； 非电阻型半导体气敏元件是根据其对气体的吸 附和反应，使得某些有关特性变化而对气体进行间 接或直接的测量。 在气敏传感器的材料中，使用得最多的材料是 氧化锡，实际上，也就是在氧化锡半导体气敏传感 器研制成功后，气敏元件才进入了实用阶段。 一、半导体气敏传感器(电阻型) (一) 工作原理 气敏电阻由非化学配比的金属氧化物按一定比 例混合，加入粘合剂成型和高温烧结而成，半导体 气敏传感器分N型和P型两种。 气敏电阻的结构见图。 1—加热电极 2—气敏材料 3—信号引出电极? 气敏电阻分类： 薄膜型、厚膜型和场效应晶体管型等。 气敏电阻的工作原理图 气体接触N型半导体时所产生的器件阻值变化情况。 工作过程： 1、通电后，元件被加热，阻值迅速下降，一般 经2～l0min后，阻值达稳定状态(初始稳定状态)。 2、到达初始稳定状态时间的长短与环境条件有 关。须指出，使用元件时必须预热，待元件达到初 始稳定状态时，才能开始测量。 3、加热的气敏电阻表面接触并吸附被测气体 时，被吸附的气体分子首先在表面扩散失去动能， 部分气体分子被蒸发，剩余气体分子被离解而固定 在吸附位置上。 4、若气敏元件材料的功率函数比被吸附气体 分子的电子的亲和力小，则被吸附的气体分子就从 元件表面夺取电子，以阴离子形式被吸附。具有阴 离子吸附性质的气体称为氧化性气体(如氧气)。 5、若气敏元件的材料的功率函数大于被吸附 气体的离子化动能，被吸附的气体的电子被元件俘 获，而以阳离子形式被吸附。具有阳离子吸附特性 的气体称为还原性气体(如，H2、CO、乙醇、乙醚及 轻汽油等)。 6、当氧化性气体吸附到N型半导体时，将使半 导体的载流子减少，而使电阻值增大。相应的，当 还原性气体吸附到N型半导体时，将使半导体的载流 子增多，而使电阻值变小。 7、当氧化性气体吸附到P型半导体时，半导体 的载流子增多，电阻值变小。当还原性气体吸附到P 型半导体时，半导体的载流子减少，电阻值增大。 8、空气中含氧量大体恒定，氧化的吸附量也恒 定，器件阻值相对固定。若气体浓度发生变化，阻 值也将变化。因此，可从阻值变化知吸附气体的种 类和浓度。半导体气敏器件响应时间不超过1分钟。 9、N型材料有SnO2(氧化锡)、ZnO等，P型材料 MoO2，CrO3等。 (二) 特性参数 1、固有电阻值 常温下，气敏元件在洁净空气中电阻值称为气 敏元件的固有电阻值。一般在数十到数百千欧范围 2、灵敏度 表征气敏元件的灵敏度通常有下列几个参数： (1) 电阻比灵敏度 元件的固有电阻与在规定气体浓度下气敏元件 的电阻之比，即： (2)气体分离度 气体浓度分别为C1、C2时，气敏元件的电阻RC1、 RC2之比，即： (3)电压灵敏度 气敏元件在固有电阻值时的输出电压Ua与在规定 浓度下负载电阻的输出电压Ug之比，即： 3、分辨率 气敏元件对被测气体的识别以及对干扰气体的 抑制能力，即 式中，Ugi为在规定浓度下，元件在第i种气体 中负载电阻上的电压。 4、时间常数 气敏元件与某一特定浓度的气体接触开始，直 到元件的阻值达到此浓度下稳定阻值的63.2%为止， 所需的时间称为元件在该浓度下的时间常数。 5、恢复时间 气敏元件脱离某一浓度的气体开始，到元件的 阻值恢复到固有电阻的36.8％为止所需时间称为恢 复时间。 (三) 测量电路