电容器用铝箔阳极复合氧化膜地研究.pdfVIP

2004年中国电-7-$会第十三届电子元件学束年会论文集 电容器用铝箔阳极复合氧化膜的研究 杨富国“2慕金芳3郭华3 郑敏3 王跃3 张金武3 徐长征3樊文海3 1．浙江大学化学系．杭州310027 2．横店集团东磁股份有限公司博士后工作站，东阳322118 3．淮北东磁电子有限公司。 淮北235000 [摘要]利用化成前引入高介电常数金属氯化物的方法，研究了Ti02涂层对提高铝箔比 客的影响．结果表明：腐蚀箔在瓯(质量分数)钛酸乙啼的乙醇溶液中．浸泡5s，然后在4500c恒 温10rain，在20av化成，阳极氯化膜的结构与性能得到改善，铝箔比容可提高10z．从而可 有效提高形成效率。 [关■词]铝箔Tioz；阳极氧化膜比客 铝电解电容器是电子工业中不可缺少的组成部分，其高容量化和体积小型化在极大程度上 影响着电子线路的小型化、集成化发展【l“，与国外相比较，我国铝电解电容器的制造、生产 技术要落后于日本、法国等一些国家．特别是中高压铝电解电容器的制造工艺，近年来虽有一 定发展，其比电容值仍远远低于一些先进国家，其中差距表现在国产铝电解电容器与国外同容 量产品相比较，在直径和高度上常要大几级f4】。 铝电解电容器基本结构为：阳极．高纯铝箔；介质-Ab03；阴极．电解质。要使其高容量化和 小型化，则须使赋能后阳极铝箔单位宏观面积所获得的静电容量高，即要提高阳极铝箔比电容 值。根据静电容量公式C=8 O￡棚(C为电容量：eo为真空介电常数；￡，为氧化膜的相对 介电常数：s为氧化膜的表面积；d为阳极氧化膜的厚度)。铝阳极氧化膜A1203的e，为7．10， 的e，为90。虽然Ta已制成电解电容器，但这类金属价格昂贵。如能将铝电解电容器的低d 值与其它阀金属氧化物的高e。值相互结合起来(即制成混合氧化物)，取长补短，就有希望获 得高比容的突破。借鉴当前材料科学中广泛应用的金属醇盐熟分解，烧结制备超微金属氧化物 粉末的方法【，…，国内对铝箔阳极氧化膜的复合研究未见报 道，我们对此进行了试验研究。本文作者主要研究 Ti02涂层对铝阳极箔比容的影响。 l实验 1．1实验材料 0．0025 试验材料为日本进口铝光箔，其成分(质量分数，％)为：SiO．0022，FeO．0015，Cu Al99．9938。 1．2实验方法 ．2l皇． 本研究中，将腐蚀箔在钛酸乙酯溶液中适当浸泡处理后，在一定温度和时间下进行热处理， 然后采用日本JCC标准化成并测试铝箔200vf的比容。由此分析钛酸乙酯溶液的浓度、浸泡 时间及热处理条件(温度与时间)对提高铝箔比容效果的影响。 1．3测试方法 氧化膜耐压值采用日本KDK公司MODEL6912型氧化膜耐压测试仪测试。化成箔的容量 一般是指比容C，化成箔比容的大小是决定铝电解电容器体积的主要因素。化成箔的比容采用 日本KDK公司KC．535C型比容测试仪测试。 2结果与讨论 2．1钛酸乙酯溶液浓度对铝箔比容的影响 在钛酸乙酯溶液中浸泡5S，在温度为 450℃条件下，加热10min，然后采用日本 地5 JCC标准化成并测试铝箔200Vf的比容。铝 2 箔比容随钛酸乙酯溶液浓度变化的曲线如 5 ¨ 图1所示。处理之前铝箔比容为2．00X 2． 10—6F／on 乏 l 由图1可见，在钛酸乙酯浓度为6％(质 绷5 量分数)的乙醇溶液中，腐蚀箔经处理后， 铝箔比容达到最大。这可能是因为钛酸乙酯