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高频声表面波滤波材料及器件的研究。 潘峰·李冬梅陈菁菁李晖 (清华大学材料系 北京 100084) X 摘要在128。YLiNb03基片上，采用纵向谐振耦合换能器结构设计并制备 出920MHz高频声表面波滤波器，研究了换能器厚度对器件性能的影响，器件插 dB。 入损耗小于12dB，带外抑制优干35 关键词媛薹重》滤波材料LiNbO々谐振耦合换能器 J嵋l}』IlllH’■I_-II__一wlI_’II_。o‘● ‘o_ o__一II__一‘’’·一。l}l一。lll一-‘Il_ ’●·‘1{I·一’II_一1II’III-，“Il_-一“lI__J-II__，“II__一。_J__一’“一‘～__，‘‘lt，。lh 。ll’·一l_r—I 1引言 近年来，移动通讯得到迅猛发展，移动电话已成为极普遍的通讯工具。随着经济的发展， 手机需求量将日益增加。声表面波滤波器是一种对信号频率具有选择作用的无源器件，因其 具有体积小、重量轻、性能优越、一致性好等优点，成为移动电话中最重要电子器件之一。 本文就移动通讯用高频声表面波滤波材料与器件进行了研究，在128。YXLiNb03基片 上，采用纵向谐振耦合换能器结构设计…1并制备出了利用基波和三次倍频波谐振耦合的声 表面波滤波器。 2纵向谐振耦合换能器 纵向谐振耦合换能器是利用两个周期性微扰的反射阵作为反射器来形成谐振腔。反射阵 的各种形式获得，如短路金属条、开路金属条、绝缘指条、刻蚀沟槽、离子注入和扩散等方式。 每个微扰条带提供小量的反射，大量周期性排列的微扰条带在一个窄的频带内对声表面波有 选择性的反射，叉指电极的声孔径远大于声表面波波长，衍射很小，因而跨过换能器的孔径方 向的声波具有恒定相位，相干的多次反射在腔中形成驻波。当反射阵指条数远大于叉指电极 的指条数时，与反射阵相干的能量只在中心频率附近的一个窄的频带内才发生u．2]。 谐振耦合换能器的特点是利用具有大量指条的反射栅阵，远大于叉指换能器的指条数， 形成谐振腔，反射基波和倍频波。相邻的电极接地方向不同，信号的相位相反，因而具有两 个换能器的谐振耦合换能器反射基波和2次倍频波，具有3个换能器的谐振耦合换能器反 。北京市科技合同项目“通讯用声表面渡材料及器件的研究”，合同编号：9550310600。 ●潘蜂：男，1963年8月生，教授，博导；主要研究领域：功能薄膜材料与器件的研究；通信地址：北京清华大学材料 edu．crl 科学与工程学院；邮编：100084；电子信箱：p耐@mail．协ir曲m 高频声表面波滤波材料及器件的研究 569 射基波和3次倍频波以达到滤波目的。 E—3‰ E竺‘”“墨森 I 曝光 反自{栅阵 l 脚画 显影 卿 脚一曲一 一明一 商占 中 生㈣一 一 E竺上 位移强度