应用原子力显微镜测试光学表面微轮廓.pdfVIP

应用原子力显微镜测试 光学表面微轮廓一 李参．白 王 呜+ 肖韶荣。 赵安庆 殷爱菡 张小林 李小芸 (：：百哲科学豌．南呈、330029；★南昌大学，南昌，330047) 摘要本文缸连7激光光彳工杆武厚子力显徽镜cAFM)的基本原理及主要性能，提出， 用AFM测试研究光学和超光滑表面的徽轮廓，可检测表面厚子乖分子量级的缺陷，得到徽 晓廓的真实图形，呈析图及空间频谱固等。剥得的各种表面圉象及频谱参数对于研究徽靶廓 的分类定标及其砖高质量成象目々影响都有重要意义。该方法测量光学表面在横向，纵向均有 高分辨率，势补了各种干涉测量方法横向分辨很低的缺点。文内给出了相应的测试实例。 关键词原子力显徽镜，光学表面微轮廓，激光光杠杆 1．前言 光学表面微轮廓对光学系统透过率、杂光和成象质量都有重要影响，特剐是由于高强度 敲光，短波长X射线和纳米光学的发展，使光学表面微轮廓再次成为光学的重要热门课题 11]【2】【3】。 光学表面，特别是超光滑表面的徽轮廓其真实形状和空间频谱分布特性等至今没有一 种合适的直接测量方法。目前流行的光学表面微轮廓粗糙度测量的两种方法都有一定的局 限性： ①基于干涉原理的各种表面轮廓测量方法。包括双渡长外差双焦干涉仪等，它们共同的 纵向分辨辜低3--4数量级【4】，由于横向采样间距大，这类仪器并不能描绘出光学表面的真 实微轮廓。 ②光学散射测量法。当然这更是一种间接测量方法，不但难以给出表面真实轮廓，散射 的理论模型也有待完善。 还有一类机械触针式轮廓￡望，由于其金刚石探针直接接触表面，在光学表面测试中是不 能使用的。 本文研究的是基于近场原子之间作用力原理的原子力显微麓(AFM)f5]，它的siN。探 OI～0 针离实际轮廓还有0 lnm间距．并不接齄。如此近距离，使探针尖与被测表面原子相 互作用力在10“N置级。臼近场原子力和电子反馈系统作用，样品与探针将保持相同的间 距，探针与样品相对运动即可真实地扫描出样品的微轮廓。 ++国家自然科学基盐．缸西省自然辞学基金资助项巨 ～290 采用A}M测量光学和超光滑表面具有明显的优点： 即在纵‘】和横向都有高的分辨宰．可以得到表面轮廓的真实图形和真实的层折图。可L』 类定标提供袒4试标准化手段。此外，车法还可方便她算出表面轮廓空间频谱分布，并由此计 算研究徽轮gi对成象质量的影响和镀膜前后表面结构与光学特性的变化： 2．AFM的基本原理和结构 本文采用的激光光杠杆式AFM。其原 理如图1。 被测样品置于外壁四等分的管状压电篙 瓷管上，在压电陶瓷管上施以不同的电压，可 实现样品台x、Y向微动扫描，以及z向反馈 伸缩微动。其扫描分辨率在0．叭～O．00lnm 量级。样品粗动另有叠片冲击式压电陶瓷和 步进电机控制。 AFM作用的基本原理是：利用对微弱力 极敏感的微悬臂自由端上具有原子线宽的微 小针尖，当其与样品表面距离小到原子力作 用范围时．微县臂受到微力作用而有微小的 弯曲变形。用一激光束照射在微悬臂上，反 射光束由四象腰位移传感器接收，组成一激 光光杠杆。当微悬臂发生微小变形时．经激 光光杠杆放大．光点在四象限传感器上就有 CirⅫt 10 PSD IIM…t。r 化处理输入计算机。当样品工作台在压电陶9 Quarrered 瓷管作用下。进行x、Y方向徽扫描时．由于 圈l AFM原理图 样品微轮廓起伏，微悬臂将随之产生不同的弯曲。由计算机D／A输出一反馈信号，使样品工 作台在z方向徽动．保持微悬臂受力和变形恒定，也就是针尖和样品的间距恒定。这时，针尖 会随着样品表ti起伏而起伏。记录下反馈信 号变化，可得引相应样品垂直表面方向的起 伏变化．即是样品表面徽轮廓图。 ’本文使用的AFM核心部件是用镀膜、 刻蚀方法做成的Si