塑料电泳芯片热键合的试验研究.pdfVIP

第41卷第3期 机械工程学报 v01．41No．3 2005年3月 M毗 2O05 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING 塑料电泳芯片热键合的试验研究水 于建群 (吉林大学生物与农业工程学院长春 130025) 刘军山 王立鼎 郭丽莎 1l (大连理工大学机械工程学院大连 6023) 摘要：塑料电泳芯片具有绝缘性．透光性好、价格便宜、成型容易和批量生产成本低等优点，是一种新型微型分 析装置。研究塑料电泳芯片热键合工艺过程和工艺参数，通过试验建立微通道变形与热键合温度、压力、时间和 模压工艺参数的关系，由此提出减小微通道变形的方法，对于完善塑料电泳芯片结构设计和制作的基本理论和基 本技术具有积极意义。 关键词：电泳芯片微流控芯片生物芯片微全分析系统微机电系统微细加工热键合 中图分类号：TN271 微通道变形的方法，对于完善塑料电泳芯片结构设 O前言 计和制作的基本理论和基本技术均有较大意义。 毛细管电泳芯片是一种采用微细加工技术，在 1材料、设备及热键合过程 数平方厘米大小的基片上，制作出微通道网络结构 和其他功能单元，以实现微量样品制备、进样、处 芯片基片和盖片均采用商品有机玻璃片，厚度 理(过滤、稀释和混合)、反应、分离和检测的快速、 为1衄、2mm两种，要求表面光滑、平整、无划 高效、低耗的微型分析装置。 痕和透光好。采用模压工艺和玻璃模板在基片上制 毛细管电泳芯片具有体积小、分离效率高、分 作微通道【6j，微通道的截面形状和尺寸见图1。用 析用样品少、分析速度快和分析过程自动化等优点， 盖片和热键合方法封闭微通道，热键合工艺过程 可用于无机分子、有机分子、生物大分子(如DNA、为：把基片和盖片夹在二块玻璃片之间并放到压片 氨基酸、蛋白质)、细胞、细菌及病毒等分析检测， 机(结构原理见图2)的工作台上，然后在给定温度下 并可望发展成微全分析系统(u．TAS)和芯片实验室施加一定压力并保持一定时间即完成热键合过程， 的主流技术。该芯片的研究和广泛应用，将使疾病 所施加温度和压力均由指示表直接读出。用轮廓仪 诊断和治疗、环境监测、新药开发、食品安全、农 Model 作物育种和改良和司法鉴定等许多领域产生革命性 合后基片微通道截面形状和尺寸，测取键合后的尺 的变化，已成为当今生命科学、化学、微机械和微 寸时，应先把键合好的芯片撕开。 电子学等领域的研究热点。 采用塑料材料制作电泳芯片，绝缘性好，成型 容易且批量生产成本低，已引起人们极大的关注【lJ。 但塑料电泳芯片导热性差，热键合后微通道变形仍 是没能很好解决的问题【2’3】，虽然可以采用粘接方 图1模压塑料芯片微通道截面形状和尺寸 法，但粘接剂与基体材料性质不同，将产生样品区 带增宽[4，5】，粘接剂又易堵塞微通道【2，5】。 研究塑料电泳芯片热键合工艺过程和工艺参 数，通过试验给出热键合时微通道变形与键合温度、 压力、时间及模压工艺参数的关系，由此寻求减小 ·中国博士后科学基金和吉林省科技发展计划资助项目(200206lo)。 图2 769YP．15型压片机结构简图 到初稿到修改稿 万方数据