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参考文献
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x射线荧光光谱仪及其分析技术的发展
赵恩好
(沈阳地质矿产研究所,辽宁沈阳110032)
摘要:按照获得和分辨特征X射线荧光光谱的方式,X射线荧光光谱仪可以分为波长色
依照这一分类,论述了X射线荧光光谱仪在设备装置和配套方法方面的新状况。X射线荧
光光谱仪整机现在向着小型化、智能化、多功能方面发展,仪器各部件也随着研究的深入而
得到了更进一步地改进,在这一基础上,仪器可分析元素的含量范围得到了拓展,方法也得
到了丰富。目前,X荧光光谱仪开发了微区面分布的元素成像分析方法、高级次谱线分析方
法、薄膜分析方法等新的方法,文中将对这些新方法作以介绍,同时也对基本参数法(FP
法)的新近发展作了说明。
关键词:波长色散X射线荧光光谱仪,能量色散X射线荧光光谱,微区面分布的元素成像
分析,高级次谱线分析方法,薄膜分析方法
X射线荧光光谱仪是基于X射线荧光光谱法而进行分析的一种常用的分析
光谱仪,1969年美国海军实验室成功研制第一台能量色散X荧光光谱仪,自此,
X射线荧光光谱法进入蓬勃发展阶段。到现在为止,X荧光光谱仪的种类越来越
多,根据获得和分辨特征X射线荧光光谱的方式可以分为波长色散X射线荧光
149
光谱仪(wDⅪ心)和能量色散X射线荧光光谱仪(EDXlU):根据激发方式又
可以分为偏振光、同位素源、同步辐射和粒子激发X射线荧光光谱仪:根据X
射线的出、入射角度还可以分为全反射、掠出入射X射线荧光光谱仪等。这里
主要是通过波长色散X射线荧光光谱仪(WDⅪ玎)和能量色散X射线荧光光谱
仪(EDⅪ心)这两大类来介绍X射线荧光光谱仪及其光谱分析的发展情况。
一、现阶段XRF仪器发展趋势
(一)整机发展趋势
l、仪器向小型化和多功能化方向发展
与20世纪80年代的仪器相比,现在仪器的体积缩小到原来的二分之一以下,
重量更是大大减轻。仪器功能方面,在元素谱峰的平滑、谱峰的查找、背景的扣
除、峰值的剥离、多重谱线显示等方面均提供了多种有效的功能川,最近的某些
品牌仪器还具有元素测量和图像分析的双重功能(如岛津的1700系列和理学的
ZSX系列)。
2、数据处理系统的“智能化程度越来越高
现在的仪器各种参数和条件的选择都是通过计算机来完成。窗式软件的使用
对光谱仪的同常分析管理、故障诊断及维护等都非常有利。智能软件的功能异常
强大,可以对未知试样依据基本参数法进行半定量分析,在短时间内得到样品的
大致成分,在科研和生产中具有重要意义。另外,无标样定量分析软件也开始在
测试中得到应用,并且取得良好的效果。
(二)仪器部件的发展
波长色散XRF光谱仪有顺序式和多道式之分,顺序式波长色散X射线荧光
光谱仪由X射线管、分析晶体、测角仪、探测器以及试样室、准直器、计数电
路
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