外磁场方位及磁珠位置和团聚对巨磁阻生物传感器检测的影响.pdfVIP

第18卷第11期 光学精密工程 V01．18No．1l andPrecision 2010年11月 0ptics Engineering Nov．20lO 文章编号 1004—924X(2010)11—2437一06 外磁场方位及磁珠位置和团聚对巨磁阻 生物传感器检测的影响 李福泉，冯 洁，陈 翔，石海平 (上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家级重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200240) 摘要：实现GMR生物传感器对磁珠及其偶联的生物分子的定量检测，必须考虑磁场方位及磁珠位置和磁珠团聚对检测 方法的影响。本文首先利用comsol软件模拟r这3个因素对GMR传感器输出信号的影响，模拟结果表明，外磁场倾 斜、磁珠位置偏离电阻条中心和磁珠团聚均会使信号减小。其中外磁场倾斜影响尤甚；当外磁场倾斜为o．5。时，磁珠的信 号会减小80％。为了与模拟结果进行比对。制备了与模型相同的线宽为5“m的GMR生物传感器，并测量r输出信号 与磁珠覆盖率的关系。测试结果显示，二者晕线性趋势，但与线性关系存在一定程度的偏离。另外，当磁珠覆盖率为 23．6％时，实验测得的信号为63pV．比模拟结果的247FlV偏小。实验显示这两种偏差均源于前述3个因素对GMR信 号的影响。因此，用GMR传感器对磁珠进行定量检测时，为使信号大小与磁珠个数呈线性关系。应保证以下测试条件： 外磁场尽可能垂直于传感器平面；测试过程中外磁场倾斜角不能变化；设法使磁珠集中于电阻条中间区域；尽量保证磁 珠不团聚。 关键词：巨磁阻生物传感器；磁珠；磁场模拟；生物检测 中图分类号：TP212．3文献标识码：A doi：10．3788／oPE2437 0f0rientationof and Influence external magneticfieId，position of beadson ofG】ⅥRbiosensor aggregationmagnetic signal LI Fu—quan，FENGJie，CHENXiang，SHIHai—ping (Nntionql MicroNatloFnbricntion Ke，Lnboratoryof f Techno}ogy，KeyLnborq￡Oryfor n行d T^i行FiZ，n口竹d^玎if，‘o．厂“6，．if以￡io卵丁_f^行(，Zogyo，￡^PMi行is￡ryo厂E0“fnfio靠，J靠sfif“f已。厂^玎if，‘o N口靠o 200240) SfiP刀fP以，2d丁0f丘”oZogy，S^口g^ni-，i以D￡D行gLki∥P，-5ify，S^n行g^口i measurethenumberof beadsandtheir biomoleculesaGiant Abstract：1bquantitatively magnetic binding by Resistance((；MR)biosensor，theinfluencesoftheorientationofexternal field，the IⅥagnet