基于准LIGA技术的微齿轮制作.pdfVIP

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2017-08-17 发布于贵州
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基于准LIGA技术的微齿轮制作.pdf

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36 2010 : 1004- 2539( 2010) 06- 0036- 03 LIGA ( , 450052) 利用准LIGA 技术可制造出固定的或可转动的金属微结构, 被看作是影响下世纪微机械工的一项重要技术介绍了基于准LIGA 技术的微齿轮的制作工艺, 制作出了m = 0. 1mm, z = 20 的微齿轮, 齿轮结构清晰, 表面和齿廓曲线平滑, 侧壁陡直微齿轮准LIGA 技术微电镀 Fabrication of Micro Gear Using QuasiLIGA Process Zhang Liyong Wang Changl L Ming Zhang Y ang o ( Zhengzho Research Instit te of Mechanical Engineering, Zhengzho 450052, China) Abstract The fixed or rotatable metallicmicrostr ct re can be obtained by sing q asiLIGA technology. Q asi LIGA technology isregarded as an important technology that can infl ence on the micromachining of next cent ry. The man fact re technology based on the q asiLIGA technology is introd ced, and the microgear samples with parameters of m= 0. 1mm and z = 20 is fabricated. The str ct re of the micro gear is clear, the s rface and the tooth profile c rve are smooth, and the sidewall is vertical. Key words Micro gear Q asiLIGA technology Micro plating , 0 (MEMS) , , IC , , 1986 1 LIGA LIGA( Lithography, Electroforming, Molding) MEMS , LIGA , , , LIGA , ( 1m) ( LIGA , / 50) 500m , , , , MEMS 20 90 , MEMS LIGA , [ 1] LIGA ( ) , , , , LIGA , LIGA ,