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平面度测量 机械工程学院 肖俊平面度的概念 平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。 平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。 平面度误差测量方法 1、平晶干涉法 2、打表测量法 3、液平面法 4、光束平面法 平晶干涉法 测量原理 平晶干涉法 测量方法 平晶干涉法 平面度误差计算 平晶干涉法 特点及应用范围 打表测量法 测量原理及方法 打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法：三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准平板等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的最大变动量即为该实际表面的平面度误差。 打表测量法 特点及应用范围 液平面法 测量原理 液平面法 测量方法 液平面法 特点及应用范围 光束平面法（激光） 测量原理及方法 光束平面法 基点的选取 光束平面法 特点