采用CTD控制电路的二维CMOS风速计的研究.pdfVIP

采用CTD控制电路的二维CMOS风速计的研究.pdf

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第25卷第4期增刊 镰i弦仪引器螽仪!一裘学 报 【;{赫驰年:墓月 士 、 . .h ■ 】_。i。薅j:· 0∞。.i㈡矗 r1、 撼~ 0“ Ⅵ 譬。 滞 曩囊{、i,f。:-A畔‘” 、 , j::j曩r。=z;?’o:’j、4.曩i。≯三.:^:一。、||。jil■ ^H■ , ∥.£ ∽i.. 尊~群 静。目 跨¨奠 曩。‰一 湾拳 带 罩辩 , 簪 .,, ;i_ ● 黉如 鲻,臻 某角:℃TD j接制i电路的≥维eMos;:j取速试研黧 ’ i;p著■尊,0:;|- : ·”:i,‘0媸 i膏: 、 :ji·毫㈣!孵裁斌。曩 程海洋秦 明 高冬晖 ’“。,‘ 、,? 、 -一I: ‘ _ , . j 。0, 。。。 ’, 一 ; , :. 。, 一、 摘要,介绍了一种三维硅热流量传感器‘,通过恒温差(cTD)控制模式,能同时测量风速和风向。使用四个串连的热堆测量芯 驱动电路。经过风洞测试,该

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